[发明专利]检查装置、检查系统以及检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，具备：

分光摄像部，将来自检查对象的预定的拍摄范围的光分光为多个波长的光，并拍摄各波长的分光图像；

形状检查部，使用各波长的所述分光图像中预定波长的分光图像来检查所述检查对象的形状；

颜色检查部，使用各波长的所述分光图像来检查所述检查对象的颜色；

输送臂，输送所述检查对象，所述输送臂具备把持部以及摄像保持部，所述把持部把持所述检查对象，所述摄像保持部在与被所述把持部把持的所述检查对象相对的位置保持所述分光摄像部；

输送控制器，控制所述输送臂的驱动；以及

视觉控制器，设置有控制所述分光摄像部的分光控制部、所述形状检查部以及所述颜色检查部，

在通过所述形状检查部检测出预定尺寸以上的缺陷时，所述输送控制器使所述输送臂使用所述保持部将所述检查对象输送到第一输送位置，

在通过所述形状检查部未检测出所述预定尺寸以上的缺陷且通过所述颜色检查部检测出的色度偏离预定的基准范围时，所述输送控制器使所述输送臂使用所述保持部将所述检查对象输送到第二输送位置，

在通过所述形状检查部未检测出所述预定尺寸以上的缺陷且通过所述颜色检查部检测出的色度在所述基准范围的范围内时，所述输送控制器使所述输送臂使用所述保持部将所述检查对象输送到第三输送位置。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述分光摄像部具备：波长可变干扰滤波器，具备彼此相对的一对反射膜和变更所述一对反射膜之间的间隙的尺寸的间隙变更部；以及摄像元件，对透射所述波长可变干扰滤波器的光进行拍摄。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述分光摄像部隔着缓冲材料而保持于所述摄像保持部。

4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述输送控制器根据从所述视觉控制器输入的输入信号来控制所述输送臂的驱动，并将所述检查对象输送到与所述形状检查部的形状检查结果和所述颜色检查部的颜色检查结果相应的位置。

5.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述检查装置具备基准物，所述基准物已知对通过所述分光摄像部而分光的光的波长的光学特性。

6.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述形状检查部使用各波长的所述分光图像中波长最短的所述分光图像来检查所述形状。

7.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述形状检查部使用与来自所述检查对象的光的光量达到峰值的波长对应的所述分光图像来检查所述形状。

8.一种检查系统，其特征在于，具备：

权利要求1至7中任一项所述的检查装置；以及

输送机构，将通过所述检查装置检查后的检查对象输送到预定位置。

9.根据权利要求8所述的检查系统，其特征在于，

所述检查系统具备显示校正部，在所述检查对象通过自发光显示图像时，所述显示校正部校正显示于所述检查对象的图像的显示颜色，

在通过形状检查部未检测出预定尺寸以上的缺陷且通过颜色检查部检测出的色度偏离预定的基准范围时，所述输送机构将所述检查对象输送到所述显示校正部。

10.一种检查方法，其特征在于，实施：

把持步骤，通过输送臂的把持部把持检查对象；

分光摄像步骤，使用保持于所述输送臂的摄像保持部的分光摄像部，将来自检查对象的预定的拍摄范围的光分光为多个波长的光，并拍摄各波长的分光图像，所述摄像保持部在与被所述输送臂的所述把持部把持的所述检查对象相对的位置保持所述分光摄像部；

形状检查步骤，使用在所述分光摄像步骤中拍摄到的各波长的所述分光图像中预定波长的分光图像来检查所述检查对象的形状；以及

颜色检查步骤，使用在所述分光摄像步骤中拍摄到的各波长的所述分光图像来检查所述检查对象的颜色，

在检测出预定尺寸以上的缺陷时，通过所述输送臂使用所述保持部将所述检查对象输送到第一输送位置，

在未检测出所述预定尺寸以上的缺陷且检测出的色度偏离预定的基准范围时，通过所述输送臂使用所述保持部将所述检查对象输送到第二输送位置，

在未检测出所述预定尺寸以上的缺陷且检测出的色度在所述基准范围的范围内时，通过所述输送臂使用所述保持部将所述检查对象输送到第三输送位置。