[发明专利]传感器设备、力检测装置及机器人

说明书

本发明提供了能够抑制盖体和力检测部的干扰，能够发挥优异的力检测特性的传感器设备、力检测装置及机器人。传感器设备具有：基体，具有凹部；盖体，封闭所述凹部的开口；力检测部，配置于所述凹部，根据受到的外力输出电荷；以及电子部件，配置于所述凹部，与所述力检测部电连接，在所述盖体的厚度方向上，所述电子部件和所述盖体的分离距离大于所述力检测部和所述盖体的分离距离。

技术领域

本发明涉及传感器设备、力检测装置及机器人。

背景技术

专利文献1中记载的传感器设备是能够分别独立地检测X轴、Y轴及Z轴的加速度的加速度传感器，具有传感器基台、在传感器基台上安装的电路基板、在电路基板上安装的层叠压电元件及处理来自层叠压电元件的信号的处理电路、收纳层叠压电元件及处理电路的盖体(罩)。

专利文献1：日本特开2000-314744号公报

但是，在这样的传感器中，根据处理电路中包括的电子部件(例如电阻、电容器、运算放大器等)的大小，电子部件会干扰盖体。因此，例如将层叠压电元件夹在电路基板和盖体之间，通过盖体向电路基板按压层叠压电元件，在希望对层叠压电元件进行加压的情况下，由于电子部件和盖体的干扰，存在无法正确地对层叠压电元件进行加压，加速度检测特性下降的危险。

发明内容

本发明的目的在于提供抑制盖体和电子部件的干扰，能够发挥优异的力检测特性的传感器设备、力检测装置及机器人。

本发明的一方面的传感器设备，具有：基体，具有凹部；盖体，封闭所述凹部的开口；力检测部，在所述凹部内配置，根据受到的外力输出电荷；以及电子部件，在所述凹部内配置，与所述力检测部电连接，所述电子部件和所述盖体的分离距离大于所述力检测部和所述盖体的分离距离。

由此，能够有效地抑制盖体和电子部件的干扰(接触)，能够以期望的压缩力对力检测部进行加压。因此，能够得到能够发挥优异的力检测特性的传感器设备。此外，由于盖体和电子部件的接触被抑制，因此能够抑制电子部件的破损或剥离等，传感器设备的可靠性得以提高。

在本发明的一方面中，优选地，所述盖体在从所述盖体的厚度方向观察的俯视观察时，具有：中央部；外缘部，呈包围所述中央部的框状并与所述基体接合；以及框状的连接部，位于所述中央部和所述外缘部之间，连接所述中央部和所述外缘部，在所述俯视观察时，所述力检测部及所述电子部件与所述中央部重叠。

由此，例如与电子部件与外缘部重叠的情况相比较，能够确保电子部件和盖体的分离距离较长，能够确保该分离距离更大。

在本发明的一方面中，优选地，在从与所述盖体的厚度方向正交的方向观察的剖视观察时，所述连接部呈连接所述中央部的外缘和所述外缘部的内缘的锥状。

由此，能够得到容易变形的盖体。

在本发明的一方面中，优选地，所述传感器设备具有接合部件，所述接合部件位于所述基体和所述盖体之间，将所述基体和所述盖体接合，在从与所述盖体的厚度方向正交的方向观察的剖视观察时，所述接合部件和所述盖体的接合面位于所述力检测部的所述盖体侧的端部和所述电子部件的所述盖体侧的端部之间。

由此，通过与力检测部抵接，盖体的变形被限制，能够抑制盖体向接合部件与盖体的接合面下方挠曲变形。因此，能够更可靠地抑制盖体和电子部件的接触。

在本发明的一方面中，优选地，所述凹部被所述盖体封闭，所述凹部内呈减压状态。

由此，能够有效地抑制电路部的特性的劣化、变动。

在本发明的一方面中，优选地，所述凹部内的气压在0.01Pa以上且1000Pa以下。

由此，能够更有效地抑制电路部的特性的劣化、变动。

在本发明的一方面中，优选地，所述凹部内填充有惰性气体。