[发明专利]传感器设备、力检测装置及机器人

权利要求书

1.一种传感器设备，其特征在于，具有：

基体，具有凹部；

盖体，封闭所述凹部的开口；

力检测部，配置于所述凹部，根据受到的外力输出电荷；以及

电子部件，配置于所述凹部，与所述力检测部电连接，

在所述盖体的厚度方向上，所述电子部件和所述盖体的分离距离大于所述力检测部和所述盖体的分离距离。

2.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于，

所述盖体在从所述盖体的厚度方向观察的俯视观察时，具有：

中央部；

外缘部，呈包围所述中央部的框状并与所述基体接合；以及

框状的连接部，位于所述中央部和所述外缘部之间，连接所述中央部和所述外缘部，

在所述俯视观察时，所述力检测部及所述电子部件与所述中央部重叠。

3.根据权利要求2所述的传感器设备，其特征在于，

在从与所述盖体的厚度方向正交的方向观察的剖视观察时，

所述连接部呈连接所述中央部的外缘和所述外缘部的内缘的锥状。

4.根据权利要求3所述的传感器设备，其特征在于，

所述传感器设备具有接合部件，所述接合部件位于所述基体和所述盖体之间，将所述基体和所述盖体接合，

在所述剖视观察时，所述接合部件和所述盖体的接合面位于所述力检测部的所述盖体侧的端部和所述电子部件的所述盖体侧的端部之间。

5.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于，

所述凹部被所述盖体封闭，所述凹部内呈减压状态。

6.根据权利要求5所述的传感器设备，其特征在于，

所述凹部内的气压在0.01Pa以上且1000Pa以下。

7.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于，

所述凹部内填充有惰性气体。

8.根据权利要求1所述的传感器设备，其特征在于，

所述传感器设备具有电路部，所述电路部将从所述力检测部输出的电荷转换为电压。

9.根据权利要求8所述的传感器设备，其特征在于，

所述电路部具有被输入所述电荷的电阻、蓄积所述电荷的蓄电部或放大基于所述电荷的电压的放大器，作为所述电子部件。

10.根据权利要求8或9所述的传感器设备，其特征在于，

所述力检测部具有：

第一压电元件，根据第一方向的外力输出第一电荷；以及

第二压电元件，根据与所述第一方向不同的第二方向的外力输出第二电荷，

所述电路部具有：

第一电路部，处理所述第一电荷；以及

第二电路部，处理所述第二电荷，

在俯视观察所述基体时，所述力检测部位于所述第一电路部和所述第二电路部之间。

11.根据权利要求10所述的传感器设备，其特征在于，

在俯视观察所述基体时，所述第一电路部及所述第二电路部以相对于所述力检测部对称的方式配置。

12.根据权利要求10所述的传感器设备，其特征在于，

所述第一压电元件及所述第二压电元件包括水晶。

13.一种力检测装置，其特征在于，具备：

第一基部；

第二基部；

权利要求1至12中任一项所述的传感器设备，被所述第一基部和所述第二基部夹持；以及

螺栓，将所述第一基部和所述第二基部紧固连接。

14.一种机器人，其特征在于，具备：

基台；

臂，与所述基台连接；以及

权利要求13所述的力检测装置。