[发明专利]有机发光二极管背板的制作方法在审
| 申请号： | 201910143946.6 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN109817578A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 唐甲;任章淳 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/32 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机发光二极管 背板 基板 铟镓锌氧化物 第一金属层 栅极绝缘层 发光层 缓冲层 制程 制作 图案化 光罩 节拍 | ||
本揭示提供了有机发光二极管背板的制作方法。所述有机发光二极管背板的制作方法包括提供基板，在所述基板上形成发光层，在所述基板及所述发光层上形成缓冲层，在所述缓冲层上依次形成铟镓锌氧化物层、栅极绝缘层和第一金属层，通过同一光罩依次图案化所述第一金属层、所述栅极绝缘层和所述铟镓锌氧化物层。本揭示能改善制程、节省制程的节拍时间与成本。
【技术领域】
本揭示涉及显示技术领域，特别涉及一种有机发光二极管背板的制作方法。
【背景技术】
目前有机发光二极体(organic light emitting diode,OLED)背板的制程由于结构复杂，具有多层结构，每增加一道制程，不仅增加了时间成本，物料成本，也同时伴随着制程良率带来的损失。
故，有需要提供一种有机发光二极管背板的制作方法，以解决现有技术存在的问题。
【发明内容】
为解决上述技术问题，本揭示的一目的在于提供有机发光二极管背板的制作方法，其能改善制程、节省制程的节拍时间(tacttime)与成本。
为达成上述目的，本揭示提供一有机发光二极管背板的制作方法，包括提供基板，在所述基板上形成发光层，在所述基板及所述发光层上形成缓冲层，在所述缓冲层上依次形成铟镓锌氧化物层、栅极绝缘层和第一金属层，通过同一光罩依次图案化所述第一金属层、所述栅极绝缘层和所述铟镓锌氧化物层。
于本揭示其中的一实施例中，所述方法还包括对所述同一光罩进行光阻灰化处理以去除覆盖所述第一金属层的边缘的所述同一光罩的一部份。
于本揭示其中的一实施例中，所述方法还包括依次图案化所述第一金属层的所述边缘和所述栅极绝缘层的边缘。
于本揭示其中的一实施例中，依次图案化所述第一金属层的所述边缘和所述栅极绝缘层的所述边缘包括依次湿蚀刻所述第一金属层的所述边缘和干蚀刻所述栅极绝缘层的所述边缘。
于本揭示其中的一实施例中，所述方法还包括剥离所述同一光罩，以露出所述第一金属层以及对所述铟镓锌氧化物层的所述边缘进行导体化处理，以形成阳极。
于本揭示其中的一实施例中，所述方法还包括在所述缓冲层、所述铟镓锌氧化物层、所述栅极绝缘层和所述第一金属层上形成层间介电绝缘层以及图案化所述层间介电绝缘层以形成多个过孔和发光区域，所述过孔和所述发光区域贯穿所述层间介电绝缘层。
于本揭示其中的一实施例中，所述方法还包括在所述铟镓锌氧化物层上形成源电极和漏电极，所述源电极和所述漏电极通过对应的过孔与所述铟镓锌氧化物层的所述边缘接触。
于本揭示其中的一实施例中，所述方法还包括在所述层间介电绝缘层、所述源电极和所述漏电极上形成钝化层。
于本揭示其中的一实施例中，所述同一光罩为同一半色调掩膜。
于本揭示其中的一实施例中，通过所述同一光罩依次图案化所述第一金属层、所述栅极绝缘层和所述铟镓锌氧化物层包括通过所述同一光罩依次湿蚀刻所述第一金属层、干蚀刻所述栅极绝缘层和湿蚀刻所述铟镓锌氧化物层。
由于本揭示的实施例中的有机发光二极管背板的制作方法，通过同一光罩依次图案化所述第一金属层、所述栅极绝缘层和所述铟镓锌氧化物层，能改善制程、节省制程的节拍时间与成本。
为让本揭示的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：
【附图说明】
图1显示根据本揭示的一实施例的有机发光二极管背板的制作方法的流程图；
图2显示根据本揭示的一实施例的有机发光二极管背板的制作方法的示意图；
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