[发明专利]EFEM系统以及EFEM系统中的气体供给方法

说明书

本发明提供EFEM系统以及EFEM系统中的气体供给方法。在利用非活性气体置换EFEM的内部空间的气氛的情况下，削减使对大气开放过后的内部空间的湿度下降所需要的非活性气体的供给量。EFEM系统包括：非活性气体供给通路(61)，其能向EFEM(1)的内部空间(40)供给氮；第1切换部(63)，其进行自非活性气体供给通路(61)向内部空间(40)供给非活性气体的状态与不进行该供给的状态的切换；干燥空气供给通路(71)，其能向内部空间(40)供给干燥空气；以及第2切换部(73)，其进行自干燥空气供给通路(71)向内部空间(40)供给干燥空气的状态与不进行该供给的状态的切换。

技术领域

本发明涉及EFEM系统以及该EFEM系统中的气体供给方法，该EFEM系统利用非活性气体置换EFEM的内部空间的气氛，从而将内部空间的氧浓度和湿度维持为目标值以下。

背景技术

以往已知一种EFEM(Equipment Front End Module，设备前端模块)，该EFEM用于在收纳有晶圆的FOUP(Front-Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)与对晶圆实施预定的处理的基板处理装置之间交接晶圆。近年来，半导体元件的微细化推进，不仅是存在于EFEM的内部空间的颗粒，氧、水分的影响也不容忽视了。于是，在专利文献1记载的EFEM中，通过密闭EFEM的内部空间，并且利用氮(非活性气体)置换内部空间的气氛，从而从内部空间去除氧、水分。当大量地消耗氮时，运行成本增高，因此在专利文献1中，通过使氮在内部空间循环来抑制氮的消耗。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-146349号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献1的EFEM中，例如若在维护时将内部空间暂且对大气开放，则随后必须供给大量的非活性气体(氮)以使氧浓度、湿度下降至目标值，运行成本依然较高。特别是，当对大气开放时，大气中的水分会吸附于EFEM内的装置、布线等，因此需要大量的非活性气体以使湿度下降至目标值。

本发明是鉴于所述实际情况而做成的，目的在于削减为了使对大气开放过后的EFEM的内部空间的湿度下降至目标值所需要的非活性气体的供给量。

用于解决问题的方案

本发明的EFEM系统通过利用非活性气体置换EFEM的内部空间的气氛，将上述内部空间的氧浓度和湿度维持为目标值以下，其特征在于，上述EFEM系统包括：非活性气体供给通路，其能向上述内部空间供给上述非活性气体；第1切换部，其进行自上述非活性气体供给通路向上述内部空间供给上述非活性气体的状态与不进行该供给的状态的切换；干燥空气供给通路，其能向上述内部空间供给干燥空气；以及第2切换部，其进行自上述干燥空气供给通路向上述内部空间供给上述干燥空气的状态与不进行该供给的状态的切换。

采用具有上述这样的结构的EFEM系统，能够通过向对大气开放过后的EFEM的内部空间供给干燥空气代替供给非活性气体，来使内部空间的湿度下降。因而，能够削减使内部空间的湿度下降至目标值所需要的非活性气体的供给量。

在本发明的EFEM系统中，较佳的是，上述EFEM系统还包括：湿度计，其用于测量上述内部空间的湿度；以及控制部，其用于控制上述第1切换部和上述第2切换部，上述控制部在对大气开放的上述内部空间密闭后，自上述干燥空气供给通路向上述内部空间供给上述干燥空气，并且在上述内部空间的湿度下降至预定值时，停止上述干燥空气的供给，自上述非活性气体供给通路供给上述非活性气体。