[发明专利]光学测量池、光学分析仪和光学测量池的制造方法

说明书

本发明提供光学测量池、光学分析仪和光学测量池的制造方法。为了在透光构件上形成防止与试样接触的覆盖膜并防止覆盖膜剥离，光学测量池包括夹着收容被检测液体的内部空间的第一透光构件和第二透光构件，射入第一透光构件的光通过内部空间并从第二透光构件射出，其还包括：第一按压构件，在第一透光构件的朝向光射入侧的向外的面上按压光透过的光透射区域的周围；第二按压构件，在第二透光构件的朝向光射出侧的向外的面上按压光透过的光透射区域的周围；密封构件，介于第一透光构件和第一按压构件之间、第二透光构件和第二按压构件之间，在各透光构件的表面的除了一部分以外的区域上覆盖有覆盖膜，覆盖膜的端部位于比密封构件更靠光透射区域侧。

技术领域

本发明涉及用于例如在半导体等的制造工序中测量氢氟酸(HF)等药液的浓度等的光学测量池、使用该光学测量池的光学分析仪和该光学测量池的制造方法。

背景技术

如专利文献1所示，这种光学测量池与半导体制造装置的药液配管连接，药液通过内部空间，该光学测量池具有夹着该内部空间的一对光学窗。此外，向该光学测量池的一个光学窗照射测量光，从另一个光学窗射出的透射光被光检测器接收。由此，根据在光学测量池内流动的药液的透射光强度，计算包含在该药液中的规定成分的浓度等并进行向应设定的药液浓度去的浓度控制。

以往，在该光学测量池中，形成一对光学窗的透光构件使用石英，或者在药液是能溶解石英的氢氟酸(HF)等的情况下使用蓝宝石。

但是，即使作为透光构件使用石英或蓝宝石中的一种，包含在该透光构件中主成分(Si或Al)也会溶解在药液中而产生污染物(污染)。

专利文献1：日本专利公开公报特开2016-1135号

在此，为了实现抑制污染物，本发明人研究了在透光构件的表面例如利用氟涂层等形成覆盖膜。

但是，在将透光构件配置在室(chamber)内并利用例如蒸镀等在透光构件的表面形成氟涂层等的情况下，显然不能使透光构件漂浮在空中，需要利用支承件支承透光构件的某个部位从而不能在该支承件接触的部位形成覆盖膜。

其结果，在透光构件的表面出现被覆盖膜覆盖的区域与未被覆盖膜覆盖的区域的边界，覆盖膜从位于该边界部分的覆盖膜的端部剥离，有损于上述污染物的抑制效果

发明内容

本发明是用于解决上述问题而做出的发明，本发明的主要目的在于在透光构件的表面形成防止与药液等试样接触的覆盖膜，并且防止该覆盖膜剥离。

即，本发明提供一种光学测量池，其包括夹着收容被检测液体的内部空间的第一透光构件和第二透光构件，构成为射入所述第一透光构件的光通过所述内部空间并从所述第二透光构件射出，所述光学测量池还包括：第一按压构件，在所述第一透光构件的朝向光射入侧的向外的面上按压所述光透过的光透射区域的周围；第二按压构件，在所述第二透光构件的朝向光射出侧的向外的面上按压所述光透过的光透射区域的周围；以及密封构件，介于所述第一透光构件和所述第一按压构件之间、以及所述第二透光构件和所述第二按压构件之间，在所述第一透光构件和所述第二透光构件的表面的除了一部分以外的区域上覆盖有覆盖膜，所述覆盖膜的端部位于比所述密封构件更靠所述光透射区域侧。

按照以上述方式构成的光学测量池，由于覆盖膜的端部位于比密封构件更靠光透射区域侧，所以透光构件的表面的被检测液体能够接触的区域被覆盖膜覆盖，实现了抑制污染物。

此外，由于覆盖膜的端部位于密封构件的光透射区域侧，所以能够通过按压构件按压覆盖膜。由此，如果按压覆盖膜的端部，则能够防止覆盖膜从端部剥离。此外，覆盖膜的端部位于比按压构件更靠光透射区域侧，即使该端部未被按压而发生剥离，也能够利用被按压的部分使该剥离的进展停止，因此能够防止覆盖膜进一步剥离。

由此，按照上述的光学测量池，能够在透光构件上形成防止与药液等被检测液体接触的覆盖膜，并且能够防止该覆盖膜剥离。