[发明专利]一种光学薄膜激光损伤阈值快速测量装置

权利要求书

1.一种光学薄膜激光损伤阈值快速测量装置，其特征在于包括上位机(1)、系统控制器(2)、激光电源(3)、激光器(4)、分光镜A(5)、激光束辐照单元、能量密度标定单元、光学薄膜损伤判识单元、脉宽探测单元(8)和一维运动台(9)；

所述的上位机(1)为工控计算机；

所述的系统控制器(2)为基于单片机的控制系统；

所述的激光电源(3)为脉冲触发式高压电源，分别与系统控制器(2)和激光器(4)相连接；

所述的激光器(4)为毫秒量级、微秒量级、纳秒量级或皮秒量级脉冲宽度的脉冲激光器，输出波长为1064nm、1050nm、532nm或355nm，重复频率位于1Hz～100Hz间；

所述的分光镜A(5)为表面镀制对45度入射激光波长分光膜的平面镜，与入射激光光路呈45度角放置，反射光和透射光强度比例不小于100:1；

所述的激光束辐照单元由分束聚焦单元A(501)和载物台(502)组成；

所述的能量密度标定单元由分光镜B(6)、能量探测器(601)、分束聚焦单元B(602)、光阑(603)和图像传感器A(604)组成；

所述的分光镜B(6)为表面镀制对45度入射激光波长分光膜的平面镜，与入射激光光路呈45度角放置，反射光和透射光强度比例不小于9:1；

所述光学薄膜损伤判识单元由成像光学系统(7)和图像传感器B(701)组成；所述的成像光学系统(7)为显微光学镜头，其放大倍率调节范围为1～10；

所述的脉宽探测单元(8)为高速光电探测器，其上升沿时间的十倍不大于激光器(4)发射的激光脉冲宽度；

所述的一维运动台(9)为一维电控运动台；

所述的分束聚焦单元A(501)和分束聚焦单元B(602)为由扩束镜、达曼光栅和透镜组成的折衍射混合光学系统，透镜焦距不小于40mm；

所述的载物台(502)为二维电控平面运动台，通过螺钉固定在一维电动运动台（9）上；

所述的能量探测器(601)为热释电探测器，最大单脉冲能量测量值不大于30mJ；

所述的光阑(603)为含有小孔的金属薄片，位于分束聚焦单元B(602)和图像传感器A(604)之间，固定在图像传感器A(604)的入口；

所述的图像传感器A(604)和图像传感器B(701)为CCD相机或CMOS相机，图像传感器A(604)的探测面与分束聚焦单元B(602)的焦平面重合。