[发明专利]TFT阵列基板的缺陷检测方法有效
申请号: | 201910116680.6 | 申请日: | 2019-02-14 |
公开(公告)号: | CN109829912B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 陈思宇;邓宇帆;金羽锋 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G06T7/00 | 分类号: | G06T7/00;G01N21/88;G01N21/95 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;鞠骁 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | tft 阵列 缺陷 检测 方法 | ||
本发明提供一种TFT阵列基板的缺陷检测方法。本发明的TFT阵列基板的缺陷检测方法在获取TFT阵列基板的原始图像后对原始图像进行去噪处理产生去噪图像,对去噪图像进行规则结构纹理背景去除处理产生待判定图像,对所述待判定图像进行缺陷提取获取TFT阵列基板的缺陷的描述参数,利用TFT阵列基板的缺陷的描述参数及预设的参考描述参数判断TFT阵列基板的缺陷的类型,能够简单准确地对TFT阵列基板上的缺陷类型进行检测。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种TFT阵列基板的缺陷检测方法。
背景技术
在显示技术领域,液晶显示装置(Liquid Crystal Display,LCD)等平板显示装置已经逐步取代阴极射线管(Cathode Ray Tube,CRT)显示装置。液晶显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。
现有市场上的液晶显示装置大部分为背光型液晶显示装置,其包括液晶显示面板及背光模组(backlight module),其工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子,两片玻璃基板中间有许多垂直和水平的细小电线,通过通电与否来控制液晶分子改变方向,将背光模组的光线折射出来产生画面。
通常液晶显示面板由彩膜(Color Filter,CF)基板、薄膜晶体管(Thin FilmTransistor,TFT)阵列(Array)基板、夹于彩膜基板与薄膜晶体管阵列基板之间的液晶(Liquid Crystal,LC)及密封胶框(Sealant)组成,其成型工艺一般包括:前段阵列制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT阵列基板与彩膜基板贴合)及后段模组组装制程(驱动芯片与印刷电路板压合)。其中,前段阵列制程主要是形成TFT基板,以便于控制液晶分子的运动;中段成盒制程主要是在TFT阵列基板与彩膜基板之间添加液晶;后段模组组装制程主要是驱动芯片压合与印刷电路板的整合,进而驱动液晶分子转动,显示图像。
现有技术中在制作TFT阵列基板时,TFT阵列基板上往往会形成缺陷,包括点状缺陷、纤维状缺陷、不规则异物缺陷、彩晕状缺陷等等,若将有缺陷的TFT阵列基板与彩膜基板对组成盒,最终制得的液晶显示面板将存在显示不良,因此现有技术中会在对组成盒前对TFT阵列基板进行缺陷检测以识别TFT阵列基板上的缺陷位置及类型。现有的TFT阵列基板的缺陷检测方法中,由于TFT阵列基板存在依次排列的重复结构,为了便于提取缺陷,一般会对TFT阵列基板表面图像的纹理背景进行消除,但由于存在截断效应,会影响消除TFT阵列基板表面纹理背景的效果,从而影响缺陷的提取效果,使得现有的TFT阵列基板的缺陷检测方法进能够对比较大的缺陷实现检测并不能对TFT阵列基板的缺陷类型进行有效的识别。
发明内容
本发明的目的在于提供一种TFT阵列基板的缺陷检测方法,能够简单准确地对TFT阵列基板上的缺陷类型进行检测。
为实现上述目的,本发明提供一种TFT阵列基板的缺陷检测方法,包括如下步骤:
步骤S1、提供TFT阵列基板,获取所述TFT阵列基板的原始图像;
步骤S2、对所述原始图像进行去噪处理产生去噪图像;
步骤S3、对所述去噪图像进行规则结构纹理背景去除处理产生待判定图像;
步骤S4、对所述待判定图像进行缺陷提取获取TFT阵列基板的缺陷的描述参数;
步骤S5、利用TFT阵列基板的缺陷的描述参数及预设的参考描述参数判断TFT阵列基板的缺陷的类型。
所述步骤S1中,利用自动光学检测机获取TFT阵列基板的原始图像。
所述TFT阵列基板的原始图像包括呈阵列式排布的多个原始像素。
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