[发明专利]沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法

说明书

本发明公开了一种沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法。沉积装置包括：腔室，包括至少一个排气孔；旋转部件，被配置在所述腔室的内部；多个沉积源，在平面上彼此隔开并被配置在所述旋转部件上，各个沉积源包括限定有开口部的主体、连接到所述主体的加热器、通过所述开口部安装到所述主体的收纳容器和填充到所述收纳容器且待形成在基板上的沉积材料；以及电源模块，与包括在所述沉积源中的多个所述加热器分别电连接，在预备区间期间，通过由所述电源模块向所述加热器供应的电源来同时加热所述收纳容器。

技术领域

本发明涉及一种沉积装置，更详细而言，涉及一种沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法。

背景技术

热物理气相沉积是利用沉积材料(有机物)的蒸汽来在基板表面上形成发光层的技术，收容在容器内的沉积材料被加热至汽化温度。此时，沉积材料的蒸汽在向其被收容的容器外移动之后凝结在待涂布的基板上。在规定范围的压力状态的腔室内进行这种沉积工艺，该腔室具备收容沉积材料的容器及待形成沉积材料的基板。

一般，作为收容沉积材料的容器的沉积源由电流通过壁时温度增加的电阻抗材料制造。此时，如果对沉积源施加电流，则内部的沉积材料由于从沉积源的壁产生的辐射热以及与壁接触而产生的传导热而被加热。在转炉(revolver)的内部配置有多个沉积源，沉积工艺持续进行直至收容在多个沉积源中的沉积材料耗尽为止。

另外，通过沉积源中的一个沉积源来在基板上形成沉积材料。特别是，在通过一个沉积源来在基板上形成沉积材料的过程中，对沉积源中的另一个沉积源进行预加热。

但是，在对另一个沉积源进行预加热的过程中，由沉积材料产生气体，并进行用于去除该气体的工艺。特别是，由于在对各个沉积源进行预加热的过程中产生气体，因此需要用于去除该气体的工艺时间。

发明内容

本发明的目的是提供一种能够缩减工艺时间的沉积装置及利用该沉积装置的沉积方法。

为了实现本发明的目的，本发明一实施例的沉积方法包括以下步骤：在预备区间期间同时加热多个沉积源，多个所述沉积源被配置在腔室内并且在平面上彼此隔开并被配置在旋转部件上；在所述预备区间期间，去除在所述腔室内产生的气体；在所述预备区间之后，对所述沉积源中配置于所述旋转部件的加热区域上的第一沉积源进行加热；在所述预备区间之后的第一沉积区间期间，将包括在所述第一沉积源中的第一沉积材料蒸发并形成在基板上；在所述第一沉积区间中的预热区间期间，对所述沉积源中配置于所述旋转部件的预加热区域上的第二沉积源进行预热；以及在所述第一沉积区间之后，使所述旋转部件旋转使得所述第二沉积源与所述加热区域重叠。

根据本发明实施例，各个所述沉积源包括：限定有开口部的主体；连接到所述主体的加热器；通过所述开口部安装到所述主体的收纳容器；和填充到所述收纳容器的沉积材料，多个所述加热器分别与外部电源模块电连接。

根据本发明实施例，其特征在于，在所述预备区间期间，通过所述加热器将包括在所述沉积源中的所述收纳容器分别加热至第一温度。

根据本发明实施例，在所述预备区间之后，将包括在所述第一沉积源中的第一收纳容器加热至比所述第一温度高的第二温度。

根据本发明实施例，在所述预热区间期间，将包括在所述第二沉积源中的第二收纳容器加热至所述第一温度。

根据本发明实施例，进一步包括以下步骤：通过传感器检查所述第二沉积源的预热过程，所述传感器包括：温度传感器，用于感测包括在所述第二沉积源中的第二收纳容器的温度；以及石英晶体传感器，用于检验填充到所述第二收纳容器中的沉积材料的蒸发状态。

根据本发明实施例，同时加热所述沉积源的步骤包括：通过所述电源模块向所述加热器分别提供电源；以及通过所述加热器来加热所述收纳容器。