[发明专利]一种面向Micro LED芯片的转移设备有效
| 申请号： | 201910103835.2 | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN109768129B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 洪金华;邱旋;郑阳辉 | 申请（专利权）人： | 南昌大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 330000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 面向 micro led 芯片 转移 设备 | ||
1.一种面向Micro LED芯片的转移设备，包括包括转移单元(100)、激光剥离单元(200)、拾取头切换单元(300)、视觉检测单元(400)、修补单元(500)以及作为以上各单元安装基础的支架，其特征在于：所述转移单元(100)包括拾取头(101)、X向平动模块(102)、Y向平动模块(103)和Z向平动模块(104)，该三个模块分别用于执行所述拾取头(101)在X轴和Y轴及Z轴方向的直线移动，由此可实现Micro LED芯片的拾取及转移，所述激光剥离单元(200)固定安装在转移单元(100)的下方，所述激光剥离单元(200)可以实现Micro LED芯片与基板的剥离。
2.根据权利要求1所述的一种面向Micro LED芯片的转移设备，其特征在于：所述视觉检测单元(400)包括俯视固定相机(401)和俯视运动相机(402)，所述俯视运动相机(402)活动安装在所述转移单元(100)的左方，所述俯视运动相机(402)活动安装在所述拾取头(101)的上方，所述俯视运动相机(402)用于配合拾取头(101)的精确定位，所述拾取头切换单元(300)安装在所述俯视运动相机(402)的下方，所述视觉检测单元(400)上分别设置有配套的视觉检测相机(403)、Y向平动模块(404)和Z向平动模块(405)，所述视觉检测相机(403)、Y向平动模块(404)和Z向平动模块(405)均位于转移单元(100)的右方。
3.根据权利要求1所述的一种面向Micro LED芯片的转移设备，其特征在于：所述激光剥离单元(200)包括加热基板(201)，所述加热基板(201)的下方有激光(205)照射，所述加热基板(201)的顶部贴合有接触胶层(202)，所述加热基板(201)的顶部放置有Micro LED芯片(204)，所述Micro LED芯片(204)位于拾取头(203)的下方。
4.根据权利要求1所述的一种面向Micro LED芯片的转移设备，其特征在于：所述转移单元的拾取头(101)可以进行切换，所述拾取头切换单元(300)可以实现不同拾取头的切换，实现不同尺寸、数量的Micro LED芯片的拾取与转移。
5.根据权利要求1所述的一种面向Micro LED芯片的转移设备，其特征在于：所述视觉检测单元(400)的左方设置有视觉检测单元(500)，所述视觉检测单元(500)的底部固定安装在基础的支架的底部上。
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