[发明专利]用于线栅偏振器的模具及其制造方法

说明书

提供了一种用于线栅偏振器的模具及其制造方法。所述用于线栅偏振器的模具包括硬模具和软模具，其中，硬模具包括：主体；氧化层，设置在主体上；以及SAM层，设置在氧化层上，并包括添加剂，软模具包括：基底；以及凸凹部，包括聚合的脱模剂，聚合的脱模剂中的疏水的区域布置在凸凹部的表面上。

本申请要求于2018年1月30日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0011268号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的全部内容通过引用包含于此。

技术领域

本发明涉及一种用于线栅偏振器的模具及其制造方法。

背景技术

偏振器是用于将根据具体振动方向具有偏振特性的光与在所有方向上具有相同的振动的像自然光的非偏振光分离的光学元件。为了将非偏振光分离成具有偏振特性的光，偏振器具有具备比将要被分离的非偏振光的波长的尺寸小的节距的线性格子或带形状。

通常，偏振器必须具有波长的20％的节距，使得其可以用于波长在大约400nm至大约700nm的范围内的可见光线区域中。因此，具有等于或小于100nm至最小值的节距的偏振器可以用于可见光线区域中。

上述偏振器具有非常小的节距间隔，因此很可能会在制造工艺中产生缺陷。制造工艺中产生的缺陷会使产品的良率劣化，因此会使产率恶化并削弱其经济可行性。因此，越来越需要用于在制造偏振器的工艺中防止产生缺陷的技术。

发明内容

本发明的示例性实施例提供了一种用于通过减少在制造工艺中产生缺陷的可能性来提高产率的用于线栅偏振器的模具及其制造方法。

本发明的示例性实施例提供了一种用于线栅偏振器的模具，所述用于线栅偏振器的模具包括硬模具和软模具，其中，硬模具包括：主体；氧化层，设置在主体上；以及SAM层，设置在氧化层上，并包括添加剂，软模具包括：基底；以及凸凹部，包括聚合的脱模剂，聚合的脱模剂中的疏水的区域布置在凸凹部的表面上。

添加剂可以包括亲水的第一区域和疏水的第二区域。

第一区域可以设置在氧化层附近，第二区域可以布置在硬模具的表面上。

氧化层可以是亲水的。

主体可以包括氧化硅、氮化硅和金属中的至少一种。

凸凹部可以包括添加剂。

添加剂可以包括由式1至式4表示的化合物中的至少一种：

以及

其中，n为1或2。

脱模剂可以包括氟碳低聚物、氟碳聚合物、硅氧烷低聚物和硅氧烷聚合物中的至少一种。

氧化层可以与SAM层物理地结合。

本发明的另一示例性实施例提供了一种用于制造用于线栅偏振器的模具的方法，所述方法包括以下步骤：准备用于硬模具的主体；在主体上施用用于软模具的树脂；以及通过固化用于软模具的树脂并分离软模具来形成软模具，其中，用于软模具的树脂包括脱模剂和添加剂，添加剂布置在主体附近，脱模剂通过添加剂来布置，分离软模具的步骤包括在主体上形成包括添加剂的SAM层。

所述方法还可以包括在主体上形成氧化层。

添加剂可以包括亲水的第一区域和疏水的第二区域，第一区域可以被布置为与氧化层的表面相邻。

脱模剂可以包括包含光反应性基团的第一区域和疏水的第二区域，脱模剂的第二区域可以被布置为与添加剂的第二区域相邻。

在布置脱模剂和添加剂的同时，可以固化用于软模具的树脂。