[发明专利]用于线栅偏振器的模具及其制造方法

权利要求书

1.一种用于线栅偏振器的模具，所述用于线栅偏振器的模具包括：

硬模具和软模具，

其中，所述硬模具包括：主体；氧化层，设置在所述主体上；以及自组装单层，设置在所述氧化层上，并包括添加剂，

所述软模具包括：基底；以及凸凹部，包括聚合的脱模剂，并且

所述聚合的脱模剂中的疏水的区域布置在所述凸凹部的表面上。

2.根据权利要求1所述的用于线栅偏振器的模具，其中，

所述添加剂包括亲水的第一区域和疏水的第二区域。

3.根据权利要求2所述的用于线栅偏振器的模具，其中，

所述第一区域设置在所述氧化层附近，并且所述第二区域布置在所述硬模具的表面上。

4.根据权利要求3所述的用于线栅偏振器的模具，其中，

所述氧化层是亲水的。

5.根据权利要求1所述的用于线栅偏振器的模具，其中，

所述主体包括氧化硅、氮化硅和金属中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的用于线栅偏振器的模具，其中，

所述凸凹部包括所述添加剂。

7.根据权利要求1所述的用于线栅偏振器的模具，其中，

所述添加剂包括由式1至式4表示的化合物中的至少一种：

其中，n为1或2。

8.根据权利要求1所述的用于线栅偏振器的模具，其中，

所述聚合的脱模剂包括氟碳低聚物、氟碳聚合物、硅氧烷低聚物和硅氧烷聚合物中的至少一种。

9.根据权利要求1所述的用于线栅偏振器的模具，其中，

所述氧化层与所述自组装单层物理地结合。

10.一种用于制造用于线栅偏振器的模具的方法，所述方法包括以下步骤：

准备用于硬模具的主体；

在所述主体上施用用于软模具的树脂；以及

通过固化用于所述软模具的所述树脂并分离所述软模具来形成所述软模具，

其中，用于所述软模具的所述树脂包括脱模剂和添加剂，

所述添加剂布置在所述主体附近，

所述脱模剂通过所述添加剂来布置，并且

分离所述软模具的步骤包括在所述主体上形成包含所述添加剂的自组装单层。

11.根据权利要求10所述的方法，所述方法还包括以下步骤：

在所述主体上形成氧化层。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，

所述氧化层的表面是亲水的。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，

所述添加剂包括亲水的第一区域和疏水的第二区域，并且

所述第一区域被布置为与所述氧化层的所述表面相邻。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，

所述脱模剂包括包含光反应性基团的第一区域以及疏水的第二区域，并且

所述脱模剂的所述第二区域被布置为与所述添加剂的所述第二区域相邻。

15.根据权利要求10所述的方法，其中，

在布置所述脱模剂和所述添加剂的同时，固化用于所述软模具的所述树脂。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，

所述固化用于所述软模具的所述树脂的步骤包括使得所述脱模剂中包括的光反应性基团执行聚合反应。

17.根据权利要求10所述的方法，其中，

所述添加剂包括由式1至式4表示的化合物中的至少一种：

其中，n为1或2。