[发明专利]一种提高钛合金耐磨性能的等离子放电耦合改性方法有效
| 申请号： | 201910083404.4 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN109609906B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 奥妮;刘道新;张晓化;刘成松 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C25D11/26 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 刘新琼 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 提高 钛合金 耐磨 性能 等离子 放电 耦合 改性 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种提高钛合金耐磨性能的等离子放电耦合改性方法，其特征在于步骤如下：
步骤1：将TC4钛合金试样先用砂纸逐级打磨，之后进行抛光处理，然后在无水乙醇中超声波清洗，吹干后待用；
步骤2：渗Zr时，先将试样放入真空炉中，使其与源极Zr板间距离保持在15～20mm，然后抽真空至极限真空度，然后向炉内充氩气，使炉内气压保持在20～40Pa；之后通过预溅射对试样进行清洗，然后调节源极电压和工件电压，使二者源极电压高于工件电压300V，然后保温3～4h；最后降温并取出试样；所得的钛合金表层渗Zr的厚度为20～30μm；
步骤2：对渗Zr后的TC4试样进行等离子体电解氧化处理：将渗Zr后的TC4试样作为阳极，304不锈钢槽作为阴极；等离子体电解氧化电解液组成为：Na2SiO3 20g/L；(NaPO3)6 8g/L；NaOH 2g/L；电流密度：5A/dm2，氧化时间为10～30min，等离子体电解氧化处理过程中电解液温度保持在15℃左右；
步骤3：等离子体电解氧化处理后试样先用流动水清洗，之后用蒸馏水清洗并吹干待用。
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