[发明专利]一种阀套镀膜专用夹具在审
| 申请号： | 201910078938.8 | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN109652782A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 李凡巧;于磊;庄荣金;钱晶 | 申请（专利权）人： | 杭州东兴电讯材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04 |
| 代理公司： | 杭州九洲专利事务所有限公司 33101 | 代理人： | 王之怀;王洪新 |
| 地址： | 311301 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 定位座 阀套 镀膜 条形盖板 专用夹具 专用工装夹具 夹具 一字型排列 镀膜要求 阀套顶端 阀套轴线 工装夹具 金属离子 圆筒形状 定位阀 阶梯孔 外圆周 装炉量 包敷 包覆 槽宽 槽深 溅射 通孔 转轴 匹配 装配 容纳 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种阀套镀膜专用夹具，其特征在于：该夹具包括安装在转轴(6)上的两个圆盘(7)以及安装在两个圆盘之间形成圆筒形状的若干条形定位座(1)，每个条形定位座均开设有若干个一字型排列且与阀套外圆周相适合以容纳并定位阀套的阶梯孔(1-1)，每个定位座还分别配有在阀套轴线方向包敷所述条形定位座及阀套的条形盖板(3)和U型槽板(2)；所述条形盖板上开设有若干个与阀套顶端的锥形工作面相对应的通孔(3-1)以利于金属离子的溅射；所述U型槽板的槽宽及槽深分别与条形定位座相匹配，以与条形定位座装配结合后包覆着所述阀套的非镀膜部位。
2.根据权利要求1所述的阀套镀膜专用夹具，其特征在于：每个条形定位座上的阶梯孔的轴线与所述圆筒的半径线重合且阶梯孔中的较大孔(1-111)朝向圆筒的外圆周面。
3.根据权利要求2所述的阀套镀膜专用夹具，其特征在于：所述通孔孔径与所述锥形工作面(M)的最大直径相同。
4.根据权利要求3所述的阀套镀膜专用夹具，其特征在于：所述转轴的两端开设有与离子镀设备真空室中的旋转试样架相配合的矩形卡槽(6-1)，以便竖直安装在旋转试样架的行星架上，由减速电机驱动着自转和公转进行镀膜处理。
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