[发明专利]一种铜复合丝的制备方法有效
申请号: | 201910071521.9 | 申请日: | 2019-01-25 |
公开(公告)号: | CN109755138B | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 李和平;张益彬 | 申请(专利权)人: | 常宁市隆源铜业有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/49;C21D9/52;C22F1/08;C23C26/00;C25D3/50;C25D7/06 |
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地址: | 421500 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 复合 制备 方法 | ||
1.一种铜复合丝的制备方法,其特征在于,包括以下操作步骤:
S1:将纯度为97%以上的原料铜投入真空炉中,在1200~1350℃的条件下真空熔融,待固体原料完全熔融后进行精炼,然后向真空炉内融入惰性气体,并继续升温到1450~1550℃进行微波磁力搅拌,保持70~90min;
S2:取熔融后的铜液放入铜丝制作模具内部,用牵引机组离合式真空上引得到直径为15~20mm的铜杆坯料,并将上述铜杆坯料连续挤压形成铜母线,并将铜母线进行拉拔后得到直径为450~600μm的粗铜丝,然后将粗铜丝进行退火处理;
S3:按硅微粉4~6质量份、二氧化硅3~4质量份、聚二醇1~2质量份、0.0005wt%的纳米级高纯镍粉0.5~0.8质量份加入真空炉中,加热至750℃~900℃,保持并在300~900rad/min的转速条件下搅拌30~50min,然后降温至500~600℃,保持20~30min;
S4:用旋涂法将S3步骤制备的混合溶液涂覆在S2步骤条件下制备的粗铜丝表面;
S5:将在步骤S4的条件下涂覆完成的粗铜丝进行第二次拉拔,将粗铜丝成直径为100~150μm的半精铜丝,然后将所述半精铜丝进行退火处理;
S6:取步骤S5中制得的半精铜丝进行纯钯电镀,电镀的纯钯为3.0~3.5w t%的纯钯,纯度要求大于99.99%;
S7:将步骤S6制得的半精铜丝进行第三次拉拔,将半精铜丝拉拔成直径80μm以下的精铜丝,然后将所述精铜丝进行退火处理,处理后清洗即得成品。
2.根据权利要求1所述的铜复合丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S1中精炼时间为20~25min。
3.根据权利要求1所述的铜复合丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S2中退火温度为450~600℃,退火时间为30~60min,退火后进行水冷处理。
4.根据权利要求1所述的铜复合丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S4中旋涂法的操作参数为:转速250~400rad/min,操作温度为60~70℃,粗铜丝表面的涂覆厚度为20~30μm。
5.根据权利要求1所述的铜复合丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S5中退火温度为400~450℃,退火时间为40~50min,退火后进行水冷处理。
6.根据权利要求1所述的铜复合丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S6中纯钯电镀的工艺参数为:电镀液pH值为7.2~7.9,电镀液温度为40~48℃,电流密度控制在0.2~1.5A/dm2,且镀钯层的厚度控制在4~6μm。
7.根据权利要求1所述的铜复合丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S7中退火温度450~480℃,退火时间为30~60min,退火后自然冷却。
8.根据权利要求1所述的铜复合丝的制备方法,其特征在于,所述步骤S7中进行清洗时先用pH值为4.8~5.6的弱酸酸液流动冲洗1~2min,然后经超声波清洗20~40S,再用高纯水清洗2~3min即完成清洗,清洗完成后用60~80℃热风烘干即得成品。
9.根据权利要求1所述的铜复合丝的制备方法,其特征在于,铜丝成品进行保存前在表面喷涂石墨烯液体,待干燥后再涂上防腐油再静置20~30min。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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