[发明专利]一种丝网印刷不良片的表面处理方法及返工方法在审
申请号: | 201910068654.0 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN109755352A | 公开(公告)日: | 2019-05-14 |
发明(设计)人: | 刘文琦;张剑峰;方杰;王瑶;刘景龙 | 申请(专利权)人: | 浙江正泰太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11653 | 代理人: | 李非非;杨兴宇 |
地址: | 310053 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 丝网印刷 酸洗 返工 盐酸 擦拭 清洗 超声波清洗机 硝酸 烘干 良率 | ||
1.一种丝网印刷不良片的表面处理方法,该表面处理方法包括:
对丝网印刷不良片的表面进行擦拭或利用超声波清洗机对丝网印刷不良片进行清洗,所述擦拭或所述清洗后对所述丝网印刷不良片进行第一水洗;
利用第一盐酸对所述丝网印刷不良片进行第一酸洗,所述第一酸洗后对所述丝网印刷不良片进行第二水洗;
利用硝酸对所述丝网印刷不良片进行第二酸洗,所述第二酸洗后对所述丝网印刷不良片进行第三水洗;
利用第二盐酸对所述丝网印刷不良片进行第三酸洗,所述第三酸洗后对所述丝网印刷不良片进行第四水洗;
对所述丝网印刷不良片进行烘干。
2.根据权利要求1所述的表面处理方法,其中,对丝网印刷不良片的表面进行擦拭包括:
利用松油醇和/或酒精对丝网印刷不良片的正面和背面进行擦拭。
3.根据权利要求1所述的表面处理方法,其中,利用超声波清洗机对丝网印刷不良片进行清洗包括:
在超声波清洗机内加入松油醇和/或酒精,并将丝网印刷不良片放入所述超声波清洗机内对所述丝网印刷不良片进行清洗。
4.根据权利要求1所述的表面处理方法,其中,所述第二盐酸的质量百分比浓度高于所述第一盐酸的质量百分比浓度。
5.根据权利要求1所述的表面处理方法,其中,利用第一盐酸对所述丝网印刷不良片进行第一酸洗包括:
将所述丝网印刷不良片放入盛有第一盐酸的第一HCl槽中进行第一酸洗,其中,所述第一盐酸的质量百分比浓度为4.5%至6.5%,所述第一酸洗的时长为980s至1020s。
6.根据权利要求1所述的表面处理方法,其中,利用硝酸对所述丝网印刷不良片进行第二酸洗包括:
将所述丝网印刷不良片放入盛有硝酸的HNO3槽中进行第二酸洗,其中,所述硝酸的质量百分比浓度为20%至24%,所述第二酸洗的时长为980s至1020s。
7.根据权利要求1或4所述的表面处理方法,其中,利用第二盐酸对所述丝网印刷不良片进行第三酸洗包括:
将所述丝网印刷不良片放入盛有第二盐酸的第二HCl槽中进行第三酸洗,其中,所述第二盐酸的质量百分比浓度为10%至13%,所述第三酸洗的时长为980s至1020s。
8.根据权利要求1所述的表面处理方法,其中:
将所述丝网印刷不良片放入去离子水槽中进行所述第一水洗、所述第二水洗、所述第三水洗以及所述第四水洗,其中,所述第一水洗、所述第二水洗、所述第三水洗以及所述第四水洗的时长范围均为200s至400s。
9.根据权利要求1所述的表面处理方法,其中,所述烘干的温度为100℃至120℃,时长为500s至600s。
10.一种丝网印刷不良片的返工方法,该返工方法包括:
采用如权利要求1至9中任一项所述的表面处理方法对丝网印刷不良片的表面进行处理;
对处理后的所述丝网印刷不良片进行丝网印刷以及烧结。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的