[发明专利]一种扫描致动器及光纤扫描器

说明书

本申请实施例公开了一种扫描致动器及光纤扫描器，对于扫描致动器的慢轴而言，提供了不同于现有弯曲振动的致动方式，即，扫描致动器中作为慢轴的第一致动部沿第一方向伸缩形变，采用伸缩形变的方式使得第一致动部的致动力更大，且与现有的扫描致动器相比，本申请实施例中扫描致动器的第一致动部在第一方向的尺寸更加显著。

技术领域

本申请涉及扫描显示技术领域，具体涉及一种扫描致动器及光纤扫描器。

背景技术

光纤扫描器由于其体积小，成本低，制造工艺简便以及容易集成等特点，适用于扫描显示领域。

在光纤扫描器中，扫描致动器(如：压电致动器、电磁致动器等)在电信号或电磁信号激励下弯曲振动，带动光纤振动，相应的光束通过光纤输出，从而实现扫描显示。

一般性地，扫描致动器中包括作为慢轴的第一致动部和作为快轴的第二致动部，如图1a所示，第一致动部121和第二致动部122固定连接，第一致动部121按Z轴方向以低频带动扫描光纤130作扫描运动，第二致动部122按Y轴方向以高频带动扫描光纤130作扫描运动，从而实现二维扫描。

对于由压电材料构成的第一致动部121而言，受处于通电状态下电极的作用，第一致动部121的具体工作方式可参考图1b，也即，第一致动部121通常可沿Z方向进行一定程度的弯曲振动，从而带动光纤在Z方向上摆动。

发明内容

本申请的目的在于提供一种扫描致动器及光纤扫描器，用以改变原有慢轴的振动方式。

本申请实施例提供一种扫描致动器，包括：包括作为慢轴的第一致动部及作为快轴的第二致动部，所述第一致动部和所述第二致动部均包含压电材料以及与所述压电材料相配合的电极，所述第二致动部的固定端与所述第一致动部连接固定，其中，

所述第一致动部沿第一方向伸缩振动，所述第二致动部以垂直于自身固定端至自由端方向的第二方向振动，受所述第一致动部带动，所述第二致动部的自由端沿所述第一方向和所述第二方向的合成方向扫动，所述第一方向和所述第二方向相互不平行。

可选地，所述第一致动部沿伸缩方向的两端之间的距离大于所述第一致动部其它相对两侧的距离。

可选地，所述第二致动部的固定端垂直固定于所述第一致动部伸缩方向的一端。

可选地，所述第一致动部包括顺序堆叠的多个压电材料片，每一所述压电材料片两面分别布设有电极，顺序堆叠的不同所述压电材料片的电极间相互绝缘；或者，不同所述压电材料片之间设置共用电极。通电后，任一压电材料片两面的电极之间存在电势差。

所述电极通电后，所述压电材料片沿垂直于电极的方向伸缩形变，其中，所述压电材料片伸缩形变的方向为第一方向。

可选地，每一所述压电材料片两面所布设的电极，分别连接有用于传输驱动信号的导线。

可选地，沿所述第一致动部伸缩方向的任意两个侧面设有薄膜导电层，每一所述薄膜导电层分别与各所述压电材料片的其中一面所布设的电极相连。

可选地，所述第一致动部中每一所述压电材料片的极化方向与布设在所述压电材料片两面的电极工作时产生的电场方向平行。

可选地，所述第一致动部包括压电材料柱，所述压电材料柱上沿轴向对称设有电极，所述电极通电后，所述压电材料柱沿轴向伸缩形变，其中，所述压电材料柱沿轴向伸缩形变的方向为第一方向。

可选地，所述压电材料柱的轴向尺寸大于径向尺寸。

可选地，所述压电材料柱为实心柱或空心柱。

可选地，所述压电材料柱为实心柱，所述压电材料柱平行于轴向的外表面对称设有电极，所述电极上接有用于传输驱动信号的导线或薄膜导电层。