[发明专利]一种扫描致动器及光纤扫描器

权利要求书

1.一种扫描致动器，其特征在于，包括作为慢轴的第一致动部及作为快轴的第二致动部，所述第一致动部和所述第二致动部均包含压电材料以及与所述压电材料相配合的电极，所述第二致动部的固定端与所述第一致动部连接固定，其中，

所述第一致动部沿第一方向伸缩振动，所述第二致动部以垂直于自身固定端至自由端方向的第二方向振动，受所述第一致动部带动，所述第二致动部的自由端沿所述第一方向和所述第二方向的合成方向扫动，所述第一方向和所述第二方向相互不平行。

2.如权利要求1所述的扫描致动器，其特征在于，所述第一致动部沿伸缩方向的两端之间的距离大于所述第一致动部其它相对两侧的距离。

3.如权利要求2所述的扫描致动器，其特征在于，所述第二致动部的固定端垂直固定于所述第一致动部伸缩方向的一端。

4.如权利要求3所述的扫描致动器，其特征在于，所述第一致动部包括顺序堆叠的多个压电材料片，每一所述压电材料片两面分别布设有电极；

所述电极通电后，所述压电材料片沿垂直于电极的方向伸缩形变，其中，所述压电材料片伸缩形变的方向为第一方向。

5.如权利要求4所述的扫描致动器，其特征在于，每一所述压电材料片两面所布设的电极，分别连接有用于传输驱动信号的导线。

6.如权利要求4所述的扫描致动器，其特征在于，沿所述第一致动部伸缩方向的任意两个侧面设有薄膜导电层，每一所述薄膜导电层分别与各所述压电材料片的其中一面所布设的电极相连。

7.如权利要求3所述的扫描致动器，其特征在于，所述第一致动部包括压电材料柱，所述压电材料柱上沿轴向对称设有电极，所述电极通电后，所述压电材料柱沿轴向伸缩形变，其中，所述压电材料柱沿轴向伸缩形变的方向为第一方向。

8.如权利要求7所述的扫描致动器，其特征在于，所述压电材料柱为实心柱或空心柱。

9.如权利要求8所述的扫描致动器，其特征在于，所述压电材料柱为实心柱，所述压电材料柱平行于轴向的外表面对称设有电极，所述电极上接有用于传输驱动信号的导线或薄膜导电层。

10.如权利要求8所述的扫描致动器，其特征在于，所述压电材料柱为空心柱，所述压电材料柱平行于轴向的内表面设有内电极，所述压电材料柱平行于轴向的外表面对称设有与所述内电极相配合的外电极，所述内、外电极接有用于传输驱动信号的导线或薄膜导电层。

11.如权利要求3所述的扫描致动器，其特征在于，所述第一致动部包括变幅杆以及紧密连接于所述变幅杆输入端的压电材料体，所述第二致动部的固定端固定连接于所述变幅杆的输出端；

所述压电材料体上布设有电极，工作时，所述压电材料体沿第一方向的伸缩形变输入至所述变幅杆，使得所述变幅杆在第一方向上产生设定幅度的伸缩振动。

12.如权利要求1～11中任一所述的扫描致动器，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直。

13.一种光纤扫描器，其特征在于，包括光纤和前述权利要求1-12中任一所述的扫描致动器，所述光纤沿所述扫描致动器中的第二致动部的长度方向与所述第二致动部固定连接，且所述光纤的前端超出所述第二致动部自由端的端面，形成光纤悬臂。