[发明专利]OLED显示面板及其制作方法在审
申请号: | 201910045864.8 | 申请日: | 2019-01-17 |
公开(公告)号: | CN109713019A | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 何昆鹏;张晓星 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平坦化层 薄膜晶体管基板 边缘设置 非显示区 阳极层 金属残留 逐渐变薄 边缘段 显示区 段差 申请 制作 | ||
本申请提供了一种OLED显示面板及其制作方法,所述OLED显示面板包括:薄膜晶体管基板,所述薄膜晶体管基板包括显示区和非显示区;设置在所述薄膜晶体管基板上的平坦化层,所述平坦化层的边缘设置于所述非显示区;设置在所述平坦化层上的阳极层;其中,所述平坦化层的边缘的段差处设置有辅助坡,所述辅助坡沿靠近所述平坦化层至远离所述平坦化层方向上逐渐变薄。本申请通过在所述平坦化层的边缘设置辅助坡,以解决由于平坦化层边缘段差较大,导致阳极层金属残留的问题,进而提升OLED显示面板的品质。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种OLED显示面板及其制作方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED)由于具有自发光、高对比、广视角、低功耗、可弯折等优点受到了市场的喜爱,柔性OLED面板也因其具有可挠曲、轻薄的特点逐渐占领市场。
OLED显示面板上包括多个经过图案化的薄膜晶体管阵列、缓冲层、绝缘层、金属层、钝化层和平坦化层等多个经过图案化的膜层结构,在制备钝化层后的基板表面具有较大的段差,由于OLED发光器件对于基底的平坦性具有较高的要求,故需要平坦化层将基板的表面填充至规定段差,但是膜层段差越大需要的平坦化层的膜层厚度越大,当平坦化层的膜层厚度增加到一定程度就会带来如下问题。
在OLED显示面板的非显示区的部分区域(如覆晶薄膜区域、切割区)内,平坦化层覆盖区和非覆盖区的段差较大,在后续阳极层制程的光罩工艺中,导致光阻在覆盖区与非覆盖区的边界聚集进而导致该位置的光阻膜厚较大,从而在显影过程中出现显影残留,并导致刻蚀制程中阳极层金属刻蚀残留,致使外围走线表面的金属刻蚀残留有一定几率引起线路短路。因此,目前亟需一种OLED显示面板及其制作方法以解决上述问题。
发明内容
本申请提供了一种OLED显示面板及其制作方法,以解决现有OLED显示面板中平坦化层在边缘处与周围膜层段差较大,导致阳极层金属残留,进而影响OLED显示面板品质的问题。
根据本申请的一个方面,提供了一种OLED显示面板包括:
薄膜晶体管基板,所述薄膜晶体管基板包括显示区和非显示区;
设置在所述薄膜晶体管基板上的平坦化层,所述平坦化层的边缘设置于所述非显示区;
设置在所述平坦化层上的阳极层;
其中,所述平坦化层的边缘段差处设置有辅助坡,所述辅助坡沿靠近所述平坦化层至远离所述平坦化层方向上逐渐变薄。
根据本申请一优选实施例,所述辅助坡的斜坡面为连续波浪状。
根据本申请一优选实施例,所述辅助坡与所述平坦化层的边缘贴合,所述辅助坡的顶部与所述平坦化层的边缘齐平。
根据本申请一优选实施例,所述辅助坡与所述平坦化层采用同种材料制备。
根据本申请一优选实施例,所述平坦化层的边缘辅助坡的斜坡面为连续台阶状,所述台阶的个数大于或者等于1。
根据本申请一优选实施例,每个所述台阶的坡度大于30度并小于60度。
根据本申请的另一个方面,还提供了一种OLED显示面板的制作方法,包括:
步骤S10、提供一薄膜晶体管基板,所述薄膜晶体管基板包括显示区和非显示区;
步骤S20、在所述薄膜晶体管基板上采用光罩工艺形成平坦化层,所述平坦化层的边缘位于所述非显示区域,在所述平坦化层的边缘形成辅助坡,所述辅助坡沿靠近所述平坦化层至远离所述平坦化层方向上逐渐变薄;
步骤S30、在所述平坦化层上形成阳极层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的