[发明专利]探针自我校正系统及其方法

权利要求书

1.一种探针自我校正方法，其步骤包含有：

更换一探针卡，该探针卡具有至少一探针，该探针具有一针尖；

采集一水平位置图像，一图像采集单元采集该探针卡的水平位置图像，该水平位置图像具有至少一针尖的图像；

计算水平差异量，由一控制单元计算该水平位置图像中的该针尖的水平差异量，该控制单元具有该探针卡更换前的该探针卡的位置参数，该位置参数包含一水平位置参数及一垂直位置参数；以及

补正水平测量位置，该控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针卡的水平测量位置。

2.如权利要求1所述的探针自我校正方法，其中该水平位置参数包含有X轴向位置参数、Y轴向位置参数或角度位置参数；该水平差异量包含X轴向位置差异量、Y轴向位置差异量或角度位置差异量。

3.如权利要求1所述的探针自我校正方法，其更包含有一计算垂直差异量之步骤，该控制单元控制该探针卡于垂直方向接近一称重传感器，若侦测到该称重传感器的数值有变化，则判断该探针接触到该称重传感器，该控制单元据以计算出该探针的垂直差异量。

4.如权利要求1所述的探针自我校正方法，其更包含有一计算垂直差异量之步骤，该控制单元控制该探针卡于垂直方向接近一基准垫，且该图像采集单元对该针尖进行图像采集，并将图像传输给该控制单元，当该控制单元侦测该针尖于水平方向有相对位移时，判断该针尖已接触基准垫，该控制单元计算此刻垂直位置相对该垂直位置参数的差值而成为一垂直差异量。

5.如权利要求3或4所述的探针自我校正方法，其更包含有一补正垂直测量位置之步骤，其由该控制单元结合该垂直位置参数与该垂直差异量成为补正后的垂直位置参数，再由该控制单元补正该探针卡的垂直测量位置。

6.如权利要求1所述的探针自我校正方法，其中该图像采集单元尚包含有一基准标记，该水平差异量为该针尖相对该基准标记的位置差异量。

7.如权利要求6所述的探针自我校正方法，其中该基准标记可为一十字线或一基准标点。

8.一种探针自我校正系统，其应用于至少一探针卡，该探针自我校正系统包含有：

一载台；

一控制单元；

一移动单元，其设于该载台，该移动单元电性连接该控制单元，且受控于该控制单元而可移载该探针卡；以及

一图像采集单元，其电性连接该控制单元，并采集该探针卡的探针的图像。

9.如权利要求8所述的探针自我校正系统，其中该图像采集单元位于该探针卡的上方、下方或一侧；该载台具有一称重传感器或一基准垫。

10.如权利要求8所述的探针自我校正系统，其中该图像采集单元尚包含有一基准标记，该基准标记可为一十字线或一基准标点。