[发明专利]一种闭锁式MOEMS引信保险机构

说明书

一种闭锁式MOEMS引信保险机构，采取直接耦合式光纤光路、V型电热驱动器和弹簧‑梭结构、可恢复闭锁机构和U型电热驱动器相结合的一体化设计方案，在一块SOI基板上加工而成；直接耦合式光纤光路包括上下配合的能量输入光纤和能量输出光纤；V型电热驱动器和弹簧‑梭结构共同作用驱动能量输入光纤与能量输出光纤实现错位与对准，从而控制光纤光路的“通”和“断”，本发明提高引信保险机构状态控制的安全性，增强其抵抗引信内、外强电磁干扰的能力，实现微小体积条件下引信保险机构更高的功能集成度，提高引信的智能化与灵巧化水平。

技术领域

本发明涉及引信安全系统技术领域，具体涉及一种闭锁式MOEMS引信保险机构。

背景技术

引信被誉为弹药的“大脑”，其保险机构用于确保弹药在平时勤务处理和使用过程中的安全，并在预定条件下解除保险，使弹药处于待发火状态，是保证弹药安全性的核心部件。随着弹药武器系统的发展，对引信技术提出了许多更高的要求，如微小型化、智能化和灵巧化等，使得电子逻辑器件和电路被大量应用于引信保险机构中。在现代作战模式条件下，随着各种电子装备的大量运用，以及交战双方为提高对敌作战效果所运用的各种高功率电磁脉冲武器和电磁网络空间对抗系统，使得整个战场始终笼罩在复杂恶劣的电磁环境之下，而引信内部电子元器件也会产生大量的电磁脉冲，这些电磁脉冲等都可以经电引线耦合引入电子保险机构内部，引起电子逻辑器件以不安全的方式运行，从而严重影响引信保险机构的安全性。

现有的引信保险机构存在状态控制的安全性差，抵抗引信内、外强电磁干扰的能力差的缺点。

发明内容

为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供了一种闭锁式MOEMS引信保险机构，提高引信保险机构状态控制的安全性，增强其抵抗引信内、外强电磁干扰的能力，实现微小体积条件下引信保险机构更高的功能集成度，提高引信的智能化与灵巧化水平。

为了达到上述目的，本发明采取的技术方案为：

一种闭锁式MOEMS引信保险机构，采取直接耦合式光纤光路100、V型电热驱动器200和弹簧-梭结构300、可恢复闭锁机构400和U型电热驱动器500相结合的一体化设计方案，在一块SOI基板上加工而成；直接耦合式光纤光路100一侧连接有弹簧-梭结构300，另一侧连接有V型电热驱动器200，V型电热驱动器200的另一侧连接有可恢复闭锁机构400，可恢复闭锁机构400的外侧连接有U型电热驱动器500。

所述的直接耦合式光纤光路100包括上下配合的能量输入光纤101和能量输出光纤102，能量输入光纤101和能量输出光纤102通过SOI基板上的U型槽103实现预先定位，能量输出光纤102的U型槽103两侧等距开设数个粘结槽104，注入胶水将能量输出光纤102彻底固定；能量输入光纤101的U型槽103在平面上呈楔形结构，在光纤错位和对准时实现对光纤的单边定位；能量输入光纤101设置光纤端面挡块105，SOI基板上开设激光散射孔106，使得能量输入光纤101在未对准时将激光射入激光散射孔106，并在激光散射孔106的侧壁和底部形成齿型结构，使激光发生漫反射。

所述的V型电热驱动器200采用阵列型实现大位移、大驱动力输出，能够实现130μm的位移输出，并推动能量输入光纤101与能量输出光纤102对准。

所述的弹簧-梭结构300包括和能量输入光纤101下端连接的梭302，梭302中部通过弹簧301和SOI基板连接。

所述的可恢复闭锁机构400包括圆弧形卡头401和与之配合的卡座402，卡座402和闭锁电开关403连接，卡座402的外侧连接有U型电热驱动器500。

采用基于掩模镂空技术的金属侧壁磁控溅射工艺，在所述的圆弧形卡头401后侧和卡座402内侧侧壁上分别溅射第一金属层404和第二金属层405，并在和圆弧形卡头401连接的悬臂梁上溅射金属引线，形成闭锁电开关403，使圆弧形卡头401运动到闭锁位置后实现电路导通，从而使引信控制系统能够识别光纤对准的到位闭锁信息。