[发明专利]一种闭锁式MOEMS引信保险机构

权利要求书

1.一种闭锁式MOEMS引信保险机构，其特征在于：采取直接耦合式光纤光路(100)、V型电热驱动器(200)和弹簧-梭结构(300)、可恢复闭锁机构(400)和U型电热驱动器(500)相结合的一体化设计方案，在一块SOI基板上加工而成；直接耦合式光纤光路(100)一侧连接有弹簧-梭结构(300)，另一侧连接有V型电热驱动器(200)，V型电热驱动器(200)的另一侧连接有可恢复闭锁机构(400)，可恢复闭锁机构(400)的外侧连接有U型电热驱动器(500)；

所述的直接耦合式光纤光路(100)包括上下配合的能量输入光纤(101)和能量输出光纤(102)，能量输入光纤(101)和能量输出光纤(102)通过SOI基板上的U型槽(103)实现预先定位，能量输出光纤(102)的U型槽(103)两侧等距开设数个粘结槽(104)，注入胶水将能量输出光纤(102)彻底固定；能量输入光纤(101)的U型槽(103)在平面上呈楔形结构，在光纤错位和对准时实现对光纤的单边定位；能量输入光纤(101)设置光纤端面挡块(105)，SOI基板上开设激光散射孔(106)，使得能量输入光纤(101)在未对准时将激光射入激光散射孔(106)，并在激光散射孔(106)的侧壁和底部形成齿型结构，使激光发生漫反射；

所述的弹簧-梭结构(300)包括和能量输入光纤(101)下端连接的梭(302)，梭(302)中部通过弹簧(301)和SOI基板连接；

所述的可恢复闭锁机构(400)包括圆弧形卡头(401)和与之配合的卡座(402)，卡座(402)和闭锁电开关(403)连接，卡座(402)的外侧连接有U型电热驱动器(500)；

采用基于掩模镂空技术的金属侧壁磁控溅射工艺，在所述的圆弧形卡头(401)后侧和卡座(402)内侧侧壁上分别溅射第一金属层(404)和第二金属层(405)，并在和圆弧形卡头(401)连接的悬臂梁上溅射金属引线，形成闭锁电开关(403)，使圆弧形卡头(401)运动到闭锁位置后实现电路导通，从而使引信控制系统能够识别光纤对准的到位闭锁信息。

2.根据权利要求1所述的一种闭锁式MOEMS引信保险机构，其特征在于：所述的V型电热驱动器(200)采用阵列型实现大位移、大驱动力输出，能够实现130μm的位移输出，并推动能量输入光纤(101)与能量输出光纤(102)对准。

3.根据权利要求1所述的一种闭锁式MOEMS引信保险机构，其特征在于：弹丸发射后，引信控制系统中的传感器敏感弹道环境信息，当达到设定的阈值时，向闭锁式MOEMS保险机构发出解除保险信号；获得解除保险信息后，V型电热驱动器(200)推动能量输入光纤(101)由光路错位状态运动至与能量输出光纤(102)呈光路对准状态，并使可恢复闭锁机构(400)闭锁，解除保险，使引信处于待发火状态；可恢复闭锁机构(400)具有闭锁信息反馈功能，将闭锁信息反馈给引信控制系统，停止向V型电热驱动器(200)供电；当引信控制系统向MOEMS保险机构发出恢复保险信号时，成对U型电热驱动器(500)拉开卡座(402)，能量输入光纤(101)在自身弹性和弹簧-梭结构(300)回复力的共同作用下运动至光路错位状态，恢复保险功能。

4.根据权利要求1所述的一种闭锁式MOEMS引信保险机构，其特征在于：所述的SOI基板尺寸为6mm×6mm×1mm。

5.根据权利要求1所述的一种闭锁式MOEMS引信保险机构，其特征在于：所述的能量输入光纤(101)、能量输出光纤(102)纤芯内径分别为50μm和105μm，两者包层外径均为125μm。