[发明专利]兆声波清洗方法、装置及兆声波清洗设备

权利要求书

1.一种兆声波清洗方法，其特征在于，应用于兆声波清洗设备的控制器，所述方法包括：

获取兆声喷头的设定参数；所述设定参数至少包括以下之一：运行频率、运行起点、运行终点、晶圆的分区数量、每个分区的时间比例；

根据所述设定参数确定所述兆声喷头在所述晶圆上的运行区域；

根据所述设定参数确定所述晶圆的分区及所述兆声喷头在每个所述分区的运行时间；

根据所述兆声喷头在每个所述分区的运行时间拟合所述兆声喷头在每个所述分区内的运行轨迹；

按照所述运行轨迹及所述运行时间对每个所述分区进行清洗。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述设定参数确定所述兆声喷头在所述晶圆上的运行区域的步骤，包括：

获取所述运行起点和所述运行终点；

将所述运行起点到所述运行终点之间包括的区域作为所述兆声喷头在所述晶圆上的运行区域。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据所述设定参数确定所述晶圆的分区及所述兆声喷头在每个所述分区的运行时间的步骤，包括：

获取所述分区数量、每个所述分区的时间比例及所述运行频率；

根据所述运行区域及所述分区数量确定每个所述分区；

根据所述运行频率和每个所述分区的时间比例确定所述兆声喷头在每个所述分区的运行时间。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，用于采用以下公式拟合所述兆声喷头在每个所述分区内的运行轨迹：

Y_n＝A[n]*(t-t_n-1)³+B[n]*(t-t_n-1)²+C[n]*(t-t_n-1)+D[n]；

其中，n为第n个分区；t为第n个分区的运行时间；t_n-1为第n-1个分区的最后一个时间点；Y_n为兆声喷头在第n个分区的运行轨迹的坐标；A[n]为第n个分区的三次系数；B[n]第n个分区的二次系数；C[n]为第n个分区的一次系数；D[n]第n个分区的常数项。

5.一种兆声波清洗装置，其特征在于，兆声波清洗设备的控制器，所述装置包括：

获取模块，用于获取兆声喷头的设定参数；所述设定参数至少包括以下之一：运行频率、运行起点、运行终点、晶圆的分区数量、每个分区的时间比例；

第一确定模块，用于根据所述设定参数确定所述兆声喷头在所述晶圆上的运行区域；

第二确定模块，用于根据所述设定参数确定所述晶圆的分区及所述兆声喷头在每个所述分区的运行时间；

拟合模块，用于根据所述兆声喷头在每个所述分区的运行时间拟合所述兆声喷头在每个所述分区内的运行轨迹；

清洗模块，用于按照所述运行轨迹及所述运行时间对每个所述分区进行清洗。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述第一确定模块还用于：

获取所述运行起点和所述运行终点；

将所述运行起点到所述运行终点之间包括的区域作为所述兆声喷头在所述晶圆上的运行区域。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第二确定模块还用于：

获取所述分区数量、每个所述分区的时间比例及所述运行频率；

根据所述运行区域及所述分区数量确定每个所述分区；

根据所述运行频率和每个所述分区的时间比例确定所述兆声喷头在每个所述分区的运行时间。