[发明专利]一种预干燥结构及其实施方法

说明书

本发明公开了一种预干燥结构，包括热水槽体，热水槽体内设有活动托架，所述活动托架上设有载具；所述热水槽体的边缘设有卷扬机构，所述卷扬机构与活动托架相连，通过电机驱动卷扬机构将槽内的活动托架进行上下移动。本发明通过在热水槽外设置前后卷扬机构协同运转，带动热水槽内的活动托架，在位置传感器的配合下，实现槽内托架水平升降，倾斜升降。本发明由于结构构成简单，稳定性高，精度亦能满足机械手自动勾取载具的位置精度需求。

技术领域

本发明涉及一种半导体及太阳能清洗设备和湿法处理设备,尤其是槽式清洗设备和湿法处理设备。

背景技术

在清洗行业,产品在进行湿法清洗后往往需要进行干燥处理,为了节省能源和缩短干燥时间,提升设备产能,往往需要对产品进行预干燥.目的是尽可能多的去除产品或载具表面的水,有效缩短后续干燥的时间.目前市面上通常采用热水慢体的方式,将装有产品的载具放置在70摄氏度左右的热水槽内,同过提升机构,将产品缓慢提升出水平面,利用水的表面张力作用,在提升脱离水平面过程中,水会脱离产品和载具的表面.

载具的提升方式有两种,一种为在整个提升过程中,载具始终与水平面平行,一种为在整个提升过程中,载具与水平面倾斜成一定夹角；采用载具与水面平行的状态进行提升，会存在载具底部挂水的问题，而采用倾斜状态提升的方式，可有效解决载具底部挂水问题，但是机械手放置和勾取都不方便，因为机械手是水平状态的。不管采用哪种提升方式,目前使用的提升结构均存在结构复杂或稳定性不足,或精度不足的问题。

发明内容

本发明的目的是一种结构简单,既能实现倾斜状态下提拉脱水，又能满足机械手勾取的需求，在使用过程中稳定性好,能满足自动化设备勾取载具的位置精度要求的慢提拉结构。

为了达到上述技术目的，本发明提供了一种预干燥结构，包括热水槽体，热水槽体内设有活动托架，所述活动托架上设有载具；所述热水槽体的边缘设有卷扬机构，所述卷扬机构与活动托架相连，通过电机驱动卷扬机构将槽内的活动托架进行上下移动。

优选地，所述卷扬机构包括在热水槽体外的上部设有一对活动支撑轮，和在热水槽体外的下方设有一对卷扬轮，所述卷扬轮通过电机驱动连接，所述卷扬轮与活动支撑轮对应上下设置并通过牵引带连接，所述两条牵引带分别位于热水槽体的两侧，并延伸至热水槽体内与活动托架连接。

优选地，所述两侧的牵引带的外侧设有位置传感器，所述两侧的牵引带上分别设有感应位置传感器的感应片。

优选地，所述位置传感器包括位置传感器一、位置传感器二、位置传感器三、位置传感器四、位置传感器五；所述位置传感器一、位置传感器二分别设于靠近两侧牵引带一侧的上部，并设于同一水平位置；所述位置传感器三、位置传感器四分别设于靠近两侧牵引带一侧的中部，并设于同一水平位置；所述位置传感器五设于靠近高设置的活动支撑轮一侧的下部，所述传感器通过输出信号与PLC控制系统相接，所述感应片通过在牵引带上的位置变动分别与位置传感器、位置传感器、位置传感器、位置传感器对应，并通过位置传感器输出信号给PLC控制系统，所述PLC控制系统根据发出的信号后判断并发出指令。

优选地，所述一对的活动支撑轮为一高一低设置在热水槽体外上部的前后，所述高设置的活动支撑轮与卷扬轮一通过牵引带连接，所述另一个低设置的活动支撑轮与卷扬轮二通过另一条牵引带连接，所述两条牵引带位于热水槽体的两侧。

优选地，所述活动托架靠近低设置的活动支撑轮的一端上设有限位装置。

优选地，所述热水槽体内活动托架单边设有上下滑道，限定卷扬机构只能在该滑道上进行直线上下移动，而不能左右或前后方向移动，更好的保证了托架运行的精度。

本发明还提供了一种实施预干燥结构的方法一，步骤如下：