[发明专利]一种放置硅片的花篮装置

权利要求书

1.一种放置硅片的花篮装置，其特征在于，包括带有轮齿的侧杆、底杆、带有轮齿的压杆、相对设置的支撑台柱，所述底杆的两端分别连接在所述支撑台柱的底端，所述侧杆的两端分别连接在所述支撑台柱横向的两端，且位于所述底杆的上方，所述压杆位于所述支撑台柱的顶端，所述侧杆上的轮齿为带有通孔的轮齿，以供硅片置于相邻的所述带有通孔的轮齿之间；

所述压杆的横截面为椭圆形，且与所述硅片的接触处为曲率小的弧面；

所述底杆具有多个纵向贯通的孔洞，且所述孔洞的形状为倒圆台与圆柱结合而成的形状；并且，所述底杆内部设置有碳纤维棒，且所述碳纤维棒位于所述底杆中除所述孔洞以外的部分。

2.如权利要求1所述的放置硅片的花篮装置，其特征在于，位于所述侧杆上相邻所述带有通孔的轮齿的间距取值范围为2mm-4mm，包括端点值。

3.如权利要求1所述的放置硅片的花篮装置，其特征在于，所述压杆上的轮齿为带有通孔的轮齿。

4.如权利要求3所述的放置硅片的花篮装置，其特征在于，位于所述压杆上相邻所述带有通孔的轮齿的间距取值范围为2mm-4mm，包括端点值。

5.如权利要求4所述的放置硅片的花篮装置，其特征在于，位于所述侧杆上轮齿的通孔的内壁材料和位于所述压杆上轮齿的通孔的内壁材料均为聚偏氟乙烯。

6.如权利要求1所述的放置硅片的花篮装置，其特征在于，所述孔洞位于所述侧杆上相邻所述带有通孔的轮齿的中线的正下方。

7.如权利要求1至6任一项所述的放置硅片的花篮装置，其特征在于，所述孔洞的内壁为打磨处理的内壁。