[发明专利]用于执行机构的高精度直线位移测量装置及调校测量方法

说明书

本发明公开了用于执行机构的高精度直线位移测量装置及调校测量方法，用于执行机构的高精度直线位移测量装置，包括设置的执行机构、执行机构支架、防转机构、位置调整机构、角度调整机构和调中棒，所述的位置调整机构的磁环与角度调整机构的传感器共同组成磁致伸缩式位移传感器，采用旁侧式的测量方法，通过调中棒对位置调整机构中的磁环与角度调整机构中的测量杆之间形成的环形间隙孔内轴对称的两处间隙的测量，可以确定测量杆和磁环的调校方向；执行机构行程范围内往复多次调节，使得测量杆与运动轴在执行机构行程范围内达到平行。该用于执行机构的高精度直线位移测量装置安装简单，便于实现操作，测量精度高。

技术领域

本发明属于测量领域，涉及用于执行机构的高精度直线位移测量装置及调校测量方法。

背景技术

高精度直行程调节型执行机构对直线位移的测量要求较高，受应用环境、安装形式、行程限制等因素的影响，对其成品精度的测量及校准难度较大，尤其是执行机构的负载设备安装完成后的测量难度较大，容易导致测量数据误差较大或者数据不稳定等异常现象的发生。

对于执行机构成品的精度测量，位移传感器的安装形式分有两大类：同轴式和旁侧式。同轴式安装只能将位移传感器安装在运动轴延长线上，将磁环加长臂固定到运动轴上，安装尺寸过长，如果遇到执行机构水平安装的情况，悬臂过长，容易引起精度下降；如果遇到执行机构带载荷的情况，则不能实施。旁侧式遇到的问题是同轴调节难度大，磁环对中难度大的问题。由于以上限制条件，在高精度直行程调节型执行机构行业中，成品精度的测量还停留在自测自判(通过执行机构控制设备自己读数进行精度判定)的水平上，不能真实反映产品实际精度。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的目的是提供用于执行机构的高精度直线位移测量装置及调校测量方法，可以有效解决测量杆与运动轴不平行以及在行程范围内测量杆不能一直处于磁环中心的问题。其便于安装实现，能够应用到一些其它测量装置难以应用的场合，比如带负载设备的场合。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

用于执行机构的高精度直线位移测量装置，包括执行机构支架，所述的执行机构支架套设在需要测量直线位移的执行机构上，所述的执行机构包括运动轴，还包括防转机构、位置调整机构、角度调整机构，所述的防转机构套设在运动轴外部，所述的位置调整机构与防转机构垂直连接，所述的角度调整机构与位置调整机构可活动连接，所述的角度调整机构与执行机构支架连接。

具体地，所述的执行机构支架上设有导向长槽，所述的导向长槽与所述的运动轴平行，所述的防转机构包括延伸轴、锁紧螺母、防转杆和滑套，所述的延伸轴通过锁紧螺母套设在所述的运动轴外部，所述的防转杆垂直设置在延伸轴上，所述的防转杆穿设在所述的导向长槽内，所述的滑套套在防转杆上。

具体地，所述的位置调整机构依次设置卡环、立轴、纵轴、磁环座和磁环。

进一步地，所述的卡环包括第一卡环、第二卡环、卡环螺钉螺纹孔，所述的第一卡环与第二卡环通过卡环螺钉可活动的固定在所述的延伸轴上，所述的第一卡环上开设有多半圆形柱状的凹槽，所述的多半圆形柱状的凹槽用于放置立轴，所述的多半圆形柱状的凹槽两侧设有螺纹孔。

具体地，所述的立轴设有立轴锁紧螺钉、挡台和纵轴安装螺孔，所述的立轴锁紧螺钉穿过所述的螺纹孔，将立轴与卡环紧定连接，所述的挡台卡在所述的第一卡环上的多半圆形柱状的凹槽上，所述的纵轴通过所述的纵轴安装螺孔与立轴垂直连接。

具体地，所述的磁环座包括磁环座口、磁环座锁紧螺钉、磁环座鼻、磁环座眼、磁环座上耳、磁环座下耳和磁环座背，所述的磁环座眼套在所述的纵轴上并可沿纵轴运动，所述的磁环座上耳和磁环座下耳通过磁环座锁紧螺钉夹紧，将磁环座固定在纵轴上；

所述的磁环与所述的磁环座通过4个磁环安装螺钉螺纹连接，所述的磁环中心设有圆形孔。