[发明专利]用于执行机构的高精度直线位移测量装置及调校测量方法

权利要求书

1.用于执行机构的高精度直线位移测量装置，包括执行机构支架(2)，

所述的执行机构支架(2)套设在需要测量直线位移的执行机构(1)上，所述的执行机构(1)包括运动轴(1-2)，其特征在于，

还包括防转机构(3)、位置调整机构(4)、角度调整机构(5)，所述的防转机构(3)套设在运动轴(1-2)外部，所述的位置调整机构(4)与防转机构(3)垂直连接，所述的角度调整机构(5)与位置调整机构(4)可活动连接，所述的角度调整机构(5)与执行机构支架(2)连接；

所述的执行机构支架(2)上设有导向长槽(2-1)，所述的导向长槽(2-1)与所述的运动轴(1-2)平行，所述的防转机构(3)包括延伸轴(3-1)、锁紧螺母(3-2)、防转杆(3-3)和滑套(3-4)，所述的延伸轴(3-1)通过锁紧螺母(3-2)套设在所述的运动轴(1-2)外部，所述的防转杆(3-3)垂直设置在延伸轴(3-1)上，所述的防转杆(3-3)穿设在所述的导向长槽(2-1)内，所述的滑套(3-4)套在防转杆(3-3)上；

所述的位置调整机构(4)依次设置卡环(4-1)、立轴(4-2)、纵轴(4-3)、磁环座(4-4)和磁环(4-5)；

所述的角度调整机构(5)包括万向座架(5-1)、万向座(5-2)和传感器(5-3)，所述的万向座架(5-1)包括凹球面(5-1-1)，所述的万向座(5-2)包括凸球面(5-2-1)、传感器安装螺口、万向座螺钉(5-2-2)、万向座螺母(5-2-3)，所述的万向座架(5-1)通过万向座螺母(5-2-3)与所述的支架连接螺钉(2-2)与所述的执行机构支架(2)连接；

所述的凹球面(5-1-1)和凸球面(5-2-1)接触，所述的万向座架(5-1)和万向座(5-2)通过万向座螺母(5-2-3)和万向座螺钉(5-2-2)连接，所述的万向座螺母(5-2-3)的数量为4个，所述的万向座螺钉(5-2-2)的数量为4个；

所述的传感器(5-3)根部设有外螺纹，所述的外螺纹与所述的传感器安装螺口旋合，所述的传感器(5-3)底部设置测量杆(5-3-1)，所述的测量杆(5-3-1)依次通过磁环(4-5)中心的圆形孔和磁环座口；

还设有调中棒(6)，所述的调中棒(6)包括测量段，所述的测量段直径＝(磁环(4-5)中心的圆形孔直径-测量杆(5-3-1)外径)/2-0.03mm。

2.根据权利要求1所述的用于执行机构的高精度直线位移测量装置，其特征在于，所述的卡环(4-1)包括第一卡环(4-1-1)、第二卡环(4-1-2)、卡环螺钉(4-1-3)和螺纹孔(4-1-5)，所述的第一卡环(4-1-1)与第二卡环(4-1-2)通过卡环螺钉(4-1-3)可活动的固定在所述的延伸轴(3-1)上，所述的第一卡环(4-1-1)上开设有多半圆形柱状的凹槽，所述的多半圆形柱状的凹槽用于放置立轴(4-2)，所述的多半圆形柱状的凹槽两侧设有螺纹孔(4-1-5)。

3.根据权利要求2所述的用于执行机构的高精度直线位移测量装置，其特征在于，所述的立轴(4-2)设有立轴锁紧螺钉(4-2-1)、挡台(4-2-2)和纵轴安装螺孔(4-2-3)，所述的立轴锁紧螺钉(4-2-1)穿过所述的螺纹孔(4-1-5)，将立轴(4-2)与卡环(4-1)紧定连接，所述的挡台(4-2-2)卡在所述的第一卡环(4-1-1)上的多半圆形柱状的凹槽上，所述的纵轴(4-3)通过所述的纵轴安装螺孔(4-2-3)与立轴(4-2)垂直连接。

4.根据权利要求1所述的用于执行机构的高精度直线位移测量装置，其特征在于，所述的磁环座(4-4)包括磁环座口、磁环座锁紧螺钉(4-4-1)、磁环座鼻(4-4-2)、磁环座眼(4-4-3)、磁环座上耳(4-4-4)、磁环座下耳(4-4-5)和磁环座背(4-4-6)，所述的磁环座眼(4-4-3)套在所述的纵轴(4-3)上并可沿纵轴(4-3)运动，所述的磁环座上耳(4-4-4)和磁环座下耳(4-4-5)通过磁环座锁紧螺钉(4-4-1)夹紧，将磁环座(4-4)固定在纵轴(4-3)上；

所述的磁环(4-5)与所述的磁环座(4-4)通过4个磁环安装螺钉(4-5-1)螺纹连接，所述的磁环(4-5)中心设有圆形孔。