[发明专利]压印模具的制作方法

权利要求书

1.一种压印模具的制作方法，其特征在于，所述压印模具的制作方法包括如下步骤：

1)制作母版结构，所述母版结构的表面形成有多个第一凹槽结构；

2)基于所述母版结构制作转印模板，所述转印模板的表面形成有多个与所述第一凹槽结构一一对应的凸起结构；

3)提供压印模具基板；

4)于所述压印模具基板的表面形成压印模具柔性材料层；

5)基于所述转印模板采用压印工艺于所述压印模具柔性材料层的表面形成多个第二凹槽结构，所述第二凹槽结构与所述第一凹槽结构相同；

6)将所述压印模具柔性材料层固化；

7)剥离所述转印模板，以得到与所述母版结构具有相同凹槽结构的压印模具。

2.根据权利要求1所述的压印模具的制作方法，其特征在于，步骤1)包括如下步骤：

1-1)提供母版基板；

1-2)于所述母版基板的表面形成母版柔性材料层；

1-3)采用光刻工艺或机械加工工艺于所述母版柔性材料层的表面形成多个所述第一凹槽结构。

3.根据权利要求1所述的压印模具的制作方法，其特征在于，步骤2)包括如下步骤：

2-1)提供转印基板；

2-2)于所述转印基板的表面形成转印柔性材料层；

2-3)基于所述母版结构采用压印工艺于所述转印柔性材料层的表面形成多个所述凸起结构；

2-4)将所述转印柔性材料层固化；

2-5)剥离所述母版结构以得到所述转印模板。

4.根据权利要求1所述的压印模具的制作方法，其特征在于，步骤2)包括如下步骤：

2-1)基于所述母版结构采用压印工艺制备得到具有凸起结构的中间转印模板；

2-2)基于所述具有凸起结构的中间转印模板采用压印工艺制备得到具有凹槽结构的中间转印模板；

2-3)基于上一步骤得到的所述具有凹槽结构的中间转印基板采用压印工艺制备得到所述转印模板。

5.根据权利要求4所述的压印模具的制作方法，其特征在于，步骤2-2)与步骤2-3)之间还包括如下步骤：

2-2’)基于上一步骤得到的所述具有凹槽结构的中间转印模板采用压印工艺制备另一具有凸起结构的中间转印模板；

2-2”)基于上一步骤得到的所述具有凸起结构的中间转印模板采用压印工艺制备另一具有凹槽结构的中间转移模板。

6.根据权利要求5所述的压印模具的制作方法，其特征在于，步骤2-2”)于步骤2-3)之间还包括重复步骤2-2’)～2-2”)至少一次的步骤。

7.根据权利要求1所述的压印模具的制作方法，其特征在于，多个所述第一凹槽结构独立分布或多个所述第一凹槽结构呈网格状互连分布；多个所述第二凹槽结构独立分布或多个所述第二凹槽结构呈网格状互连分布。

8.根据权利要求1所述的压印模具的制作方法，其特征在于，所述第一凹槽结构的宽度包括2μm～50μm，所述第一凹槽结构的深度包括2μm～50μm；所述凸起结构的宽度包括2μm～50μm，所述凸起结构的高度包括2μm～50μm；所述第二凹槽结构的宽度包括2μm～50μm，所述第二凹槽结构的深度包括2μm～50μm。

9.根据权利要求1所述的压印模具的制作方法，其特征在于，所述压印模具基板包括柔性基板。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的压印模具的制作方法，其特征在于，基于所述母版结构形成多个所述转印模板；基于各所述转印模板形成多个所述压印模具。