[发明专利]锂靶材组件的制造方法

说明书

本发明公开了一种锂靶材组件的制造方法，包括：提供锂靶坯，所述锂靶坯具有第一主表面和与第一主表面相反的第一背面；提供背板，所述背板具有第二主表面和与第二主表面相反的第二背面；对所述背板的第二主表面进行镀锂处理，形成镀锂层；将所述锂靶坯的第一主表面与所述背板的第二主表面上的镀锂层相对设置并贴合，形成初始组件；在真空环境中，向所述初始组件施加压力，使所述锂靶坯与所述镀锂层结合，完成锂靶坯与背板的绑定，从而形成锂靶材组件。本发明技术方案降低了锂靶坯与背板的绑定难度，提高了锂靶材组件生产制造的效率。

技术领域

本发明涉及金属靶材技术领域，尤其涉及锂靶材组件的制造方法。

背景技术

金属锂是一种稀有元素，密度0.534g/cm³，是最轻的金属。熔点180.54℃，沸点1317℃。具有软，韧性大，延展性好，化学活性好，负电位高、比能量大，可与大量无机试剂和有机试剂发生反应，与水的反应非常剧烈的特点。

金属锂靶材可以通过溅射至玻璃上从而获得电致变色玻璃，在建筑、飞机、汽车等领域广泛应用，有助于节能和环保。

由于金属锂熔点低、不稳定、难以控制，无法通过传统的粉末冶金、喷涂等方法制备成靶材。中国专利申请号201510756173.0公开了一种金属锂靶材铸造制备方法，但是该方法仅适合铸造加工旋转靶材。目前，需要用于制造平面金属锂靶材组件的工业上适用的技术。

发明内容

本发明旨在提供一种适合工业化生产的、简单、高效的锂靶材(尤其是平面锂靶材)制造方法。

发明人发现：可以通过真空焊接技术，由锂靶坯和背板相对容易地制造平面金属锂靶材组件，且制造出的靶材组件不易出现气室、鼓包等，具有高强度。更进一步，为了降低锂靶坯与背板的绑定难度，发明人设计了在背板上形成镀锂层的技术方案，从而完成了本发明。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现。

本发明提供锂靶材组件的制造方法，包括：

提供锂靶坯，所述锂靶坯具有第一主表面和与第一主表面相反的第一背面；

提供背板，所述背板具有第二主表面和与第二主表面相反的第二背面；

对所述背板的第二主表面进行镀锂处理，形成镀锂层；

将所述锂靶坯的第一主表面与所述背板的第二主表面上的镀锂层相对设置并贴合，形成初始组件；

在真空环境中，向所述初始组件施加压力，使所述锂靶坯与所述镀锂层结合，完成锂靶坯与背板的绑定，从而形成锂靶材组件。

可选地，镀锂处理包括蒸镀、电沉积和化学镀中的一种.

可选地，镀锂层的厚度为100nm至20μm，优选1μm至10μm。

可选地，锂靶坯为纯度等于或大于99.9％的金属锂，或者所述锂靶坯为金属锂的质量百分比等于或大于60％的锂合金.

可选地，背板由金属或合金制成，优选铜、不锈钢、铝、铝合金，或其混合材料。

在某些实施方案中，上述制造方法还包括：在真空环境中，在向初始组件施加压力之前、同时或之后，对锂靶坯、背板、背板上的镀锂层中的一个或多个进行加热，或者对初始组件整体进行加热，以完成锂靶坯与背板的绑定。

可选地，对锂靶坯进行加热时的加热温度为30℃至180℃，优选120℃至150℃；或，对背板或镀锂层进行加热时的加热温度为30℃至180℃，优选的，加热温度为50℃-120℃。

在某些实施方案中，上述制造方法还包括：

提供模具，其具有两端开放的腔室，所述腔室具有与所述锂靶坯相同的横截面形状，