[发明专利]加工装置的管理方法和加工装置

权利要求书

1.一种加工装置的管理方法，该加工装置具有保持被加工物的卡盘工作台和使该卡盘工作台在X轴方向上移动的X轴方向移动单元，其中，

该加工装置的管理方法具有如下的工序：

显示工序，在显示单元上显示记载有多个查核项目的查核表；

输入工序，按照查核项目在查核表中填入信息；

存储工序，将信息与填入至查核表的年月日一起存储于存储单元；以及

诊断工序，对该存储单元所存储的加工装置的构成要素的精度的经时变化进行诊断，

在该诊断工序中诊断的加工装置的构成要素的精度包括使该卡盘工作台在X轴方向上移动时的该卡盘工作台向Z轴方向的俯仰的精度。

2.根据权利要求1所述的加工装置的管理方法，其中，

在查核项目中包含有构成加工装置的构成要素的精度的优劣、是否需要修理、是否需要更换的信息，此外还包含有对填入者进行确定的信息。

3.根据权利要求1所述的加工装置的管理方法，其中，

在该显示工序中，在适当的年月日将查核表显示在该显示单元上，从而能够根据查核表的填入而进行加工装置的加工。

4.一种加工装置，其中，

该加工装置具有：

卡盘工作台，其保持被加工物；

X轴方向移动单元，其使该卡盘工作台在X轴方向上移动；

显示单元，其显示记载有查核项目的查核表；

输入单元，其用于按照查核项目在查核表中填入信息；以及

存储单元，其将信息与填入至查核表的年月日一起进行存储，

该显示单元显示该存储单元所存储的加工装置的构成要素的精度的经时变化，

该显示单元所显示的加工装置的构成要素的精度包括使该卡盘工作台在X轴方向上移动时的该卡盘工作台向Z轴方向的俯仰的精度。

5.根据权利要求4所述的加工装置，其中，

在查核项目中包含有构成加工装置的构成要素的精度的优劣、是否需要修理、是否需要更换的信息，此外还包含有对填入者进行确定的信息。

6.根据权利要求4所述的加工装置，其中，

在适当的年月日将查核表显示在该显示单元上，从而能够根据查核表的填入而进行加工。