[发明专利]基片抓持机构、基片输送装置和基片处理系统

说明书

本发明的晶片抓持机构(1)是能够在固定夹持部(20b)与可动夹持部(21b)之间抓持基片的装置，其中固定夹持部(20b)与晶片的缘部卡合，可动夹持部(21b)能够在致动器(22)的动作下相对于固定夹持部(20b)进退移动，该晶片抓持机构(1)包括：与可动夹持部(21b)联动地动作的踢挡件(23)；和各自具有不同的检测区域并且能够检测在该检测区域是否存在踢挡件(23)的第一传感器(24a)和第二传感器(24b)，踢挡件(23)具有在可动夹持部(21b)的进退方向相连的第一部分～第四部分，第一部分～第四部分各自具有由第一传感器(24a)和第二传感器(24b)检测的检测结果彼此不同的形状。

技术领域

本发明涉及抓持基片以输送该基片的基片抓持机构、基片输送装置和基片处理系统。

背景技术

在半导体器件和液晶显示装置等平板的制造步骤中，半导体晶片(以下称为“晶片”。)、玻璃基片等基片在收纳于基片输送容器的情况下被送入基片处理系统的送入端口。然后，上述基片由基片处理系统的基片输送装置从基片输送容器取出，被输送到该基片处理系统的处理装置，进行规定的处理。

作为上述的基片输送装置，已知一种具有在输送基片时保持基片的缘部的基片抓持机构的装置(参照专利文献1)。

专利文献1的基片抓持机构由固定夹持部和可动夹持部来抓持基片，具有使上述可动夹持部往复运动的夹持气缸，其中该固定夹持部与基片的前端侧的缘部卡合，该可动夹持部可动地设置于与上述固定夹持部相对的位置且使基片在其与上述固定夹持部之间。在上述夹持气缸安装有夹持原点确认自动开关和基片夹持位置确认自动开关。在专利文献1的基片抓持机构中，利用上述的开关，能够确认作为可动夹持部的位置的、移动前的位置即原点位置和在可动夹持部与固定夹持部之间抓持基片的位置即抓持位置。另外，在专利文献1的基片抓持机构中，将可动夹持部越过了上述抓持位置的规定的位置即过行程位置也确认为可动夹持部的位置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-134586号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

但是，可以为在输送基片时，作为基片抓持机构的状态，除了可动夹持部位于原点位置的打开状态、可动夹持部位于抓持位置而抓持基片的抓持状态、无法抓持基片而可动夹持部位于越过抓持位置的过行程位置的抓持失败状态之外，还能够准确地识别可动夹持部在原点位置与抓持位置之间移动的动作中状态。其原因在于，当能够准确地识别基片抓持机构为上述动作中状态时，例如，能够不在从抓持状态转移为打开状态后进行具有在该基片抓持机构的基片输送装置与其他装置之间的基片的交接动作，而从动作中状态开始该交接动作，故而能够提高生产率。

通过采用与专利文献1的基片抓持机构相同的结构，能够推断上述动作中状态。例如，当基片抓持机构处于抓持状态时，如果从发出使可动夹持部开始动作以成为打开状态的信号后经过规定时间，则能够推断转移到了动作中状态。但是，在该方法中，无法准确地识别动作中状态。当无法准确地识别动作中状态时，例如，在开始基片的交接动作时，在与推断的基片抓持机构的状态的不同，不是动作中状态而处于抓持状态的情况下，产生基片下落或者对基片造成损伤等问题。

另外，当在基片抓持机构设置更多的传感器，例如4个传感器时，能够准确地识别上述的打开状态、抓持状态、抓持失败状态、动作中状态这4个状态。但是，在基片输送装置内能够安装基片输送机构的空间有限，无法设置较多的传感器。

本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供能够以较少的部件数量来准确地识别打开状态、抓持状态、抓持失败状态、动作中状态这4个状态的基片抓持机构、基片输送装置和基片处理系统。

用于解决技术问题的技术方案