[发明专利]一种掩膜板、阴极制作方法及OLED显示装置有效
| 申请号: | 201910002681.8 | 申请日: | 2019-01-02 |
| 公开(公告)号: | CN109722629B | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
| 发明(设计)人: | 刘月;暴营 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/52;H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 掩膜板 阴极 制作方法 oled 显示装置 | ||
1.一种掩膜板,用于制作OLED显示装置的阴极,其特征在于,包括:
第一掩膜板,所述第一掩膜板上开设有多个第一开口,多个所述第一开口与所述OLED显示装置的多个子像素一一对应;每个所述第一开口在所述OLED显示装置的发光层上的投影覆盖与其对应的子像素的发光区;
所述第一开口的尺寸大于与其对应的子像素的发光区尺寸;
第二掩膜板,所述第二掩膜板上开设有多个条状的第二开口,多个所述第二开口形成的图案可将多个所述第一开口形成的图案连通;
所述第二开口形成的图案的两端连接在相邻两个所述第一开口形成的图案的边缘区域上;所述边缘区域为所述第一开口形成的图案中超出与其对应的子像素的发光区的区域。
2.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述第一开口的形状和与其对应的子像素的形状一致。
3.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述第一开口的形状为四边形、六边形、八边形和圆形中的任意一种。
4.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,多个所述第二开口形成的图案可将多个所述第一开口形成的图案两两连通。
5.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述第一掩膜板和所述第二掩膜板均为精细金属掩膜板。
6.一种阴极制作方法,其特征在于,所述阴极通过权利要求1至5中任意一项所述的掩膜板来制作;所述方法包括:
利用所述第一掩膜板在衬底上沉积导电材料,以形成多个阴极图形;
利用所述第二掩膜板在形成有多个所述阴极图形的衬底上沉积导电材料,以形成连通的所述阴极。
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