[发明专利]一种新型基板装载装置在审
申请号: | 201910002572.6 | 申请日: | 2019-01-02 |
公开(公告)号: | CN111403330A | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 张浩 | 申请(专利权)人: | 海太半导体(无锡)有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 装载 装置 | ||
本发明公开了一种新型基板装载装置,针对现有的装载装置适用性的问题,现提出如下方案,其包括安装槽,所述安装槽两端的底部内壁均设有L型结构的定位板,两个所述定位板相互远离的一侧均转动连接有对称设置的固定栓,所述安装槽的两端均开设有对称设置的活动口,且活动口沿安装槽的高度方向设置,且固定栓位于活动口的内部,所述活动口的外部横向开设有等距设置的调节槽,且调节槽与活动口相连通,所述调节槽两端的上方均焊接有卡杆,本发明,在各部件的共同作用下,不同尺寸的基板在装载时,能够便于调整位置,使其很好的与基板之间卡合,提高了不同产品间的模具通用性。
技术领域
本发明涉及装载装置领域,尤其涉及一种新型基板装载装置。
背景技术
现有的芯片键合工程,作业不同产品时,基板尺寸差异无法调整,导致通常需要频繁更换装置,为此我们提出了一种新型基板装载装置。
发明内容
本发明提出的一种新型基板装载装置,解决了装载装置适用性的问题。
为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案:
一种新型基板装载装置,包括安装槽,所述安装槽两端的底部内壁均设有L型结构的定位板,两个所述定位板相互远离的一侧均转动连接有对称设置的固定栓,所述安装槽的两端均开设有对称设置的活动口,且活动口沿安装槽的高度方向设置,且固定栓位于活动口的内部,所述活动口的外部横向开设有等距设置的调节槽,且调节槽与活动口相连通,所述调节槽两端的上方均焊接有卡杆,一个所述调节槽的内部设有活动套设在固定栓外部的限定板,所述限定板顶部的一侧焊接有卡板,且卡板卡接在位于同一高度上的卡杆上,所述固定栓伸出安装槽的一端焊接有转盘。
优选的,所述定位板的一侧开设有对称设置的固定槽,固定槽的内壁固定套设有轴承,且固定栓的一端与轴承的内圈固定套接。
优选的,所述限定板一侧的中间位置开设有螺纹孔,且固定栓与螺纹孔的内壁螺纹连接,且限定板抵触在调节槽的底部。
优选的,所述卡板的一侧开设有对称设置的卡孔,且卡套设在卡杆上,卡杆伸出卡板的一端螺纹连接有螺母。
优选的,所述活动口与安装槽的内部相连通,所述调节槽与安装槽的内部不连通。
本发明中,通过安装有安装槽、定位板、固定栓、活动口、调节槽、卡杆、限定板、卡板、轴承、转盘,在各部件的共同作用下,不同尺寸的基板在装载时,能够便于调整位置,使其很好的与基板之间卡合,提高了不同产品间的模具通用性。
附图说明
图1为本发明的俯视结构示意图。
图2为本发明的正视结构示意图;
图3为本发明中定位板与固定栓连接的侧视结构示意图。
图中标号:1安装槽、2定位板、3固定栓、4活动口、5调节槽、6卡杆、7限定板、8卡板、9轴承、10转盘。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
参照图1-3,一种新型基板装载装置,包括安装槽1,安装槽1两端的底部内壁均设有L型结构的定位板2,两个定位板2相互远离的一侧均转动连接有对称设置的固定栓3,安装槽1的两端均开设有对称设置的活动口4,且活动口4沿安装槽1的高度方向设置,且固定栓3位于活动口4的内部,活动口4的外部横向开设有等距设置的调节槽5,且调节槽5与活动口4相连通,调节槽5两端的上方均焊接有卡杆6,一个调节槽5的内部设有活动套设在固定栓3外部的限定板7,限定板7顶部的一侧焊接有卡板8,且卡板8卡接在位于同一高度上的卡杆6上,固定栓3伸出安装槽1的一端焊接有转盘10。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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