[发明专利]一种新型基板装载装置在审

专利信息
申请号: 201910002572.6 申请日: 2019-01-02
公开(公告)号: CN111403330A 公开(公告)日: 2020-07-10
发明(设计)人: 张浩 申请(专利权)人: 海太半导体(无锡)有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人: 赵华
地址: 214000 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 装载 装置
【权利要求书】:

1.一种新型基板装载装置,包括安装槽(1),其特征在于,所述安装槽(1)两端的底部内壁均设有L型结构的定位板(2),两个所述定位板(2)相互远离的一侧均转动连接有对称设置的固定栓(3),所述安装槽(1)的两端均开设有对称设置的活动口(4),且活动口(4)沿安装槽(1)的高度方向设置,且固定栓(3)位于活动口(4)的内部,所述活动口(4)的外部横向开设有等距设置的调节槽(5),且调节槽(5)与活动口(4)相连通,所述调节槽(5)两端的上方均焊接有卡杆(6),一个所述调节槽(5)的内部设有活动套设在固定栓(3)外部的限定板(7),所述限定板(7)顶部的一侧焊接有卡板(8),且卡板(8)卡接在位于同一高度上的卡杆(6)上,所述固定栓(3)伸出安装槽(1)的一端焊接有转盘(10)。

2.根据权利要求1所述的一种新型基板装载装置,其特征在于,所述定位板(2)的一侧开设有对称设置的固定槽,固定槽的内壁固定套设有轴承,且固定栓(3)的一端与轴承的内圈固定套接。

3.根据权利要求1所述的一种新型基板装载装置,其特征在于,所述限定板(7)一侧的中间位置开设有螺纹孔,且固定栓(3)与螺纹孔的内壁螺纹连接,且限定板(7)抵触在调节槽(5)的底部。

4.根据权利要求1所述的一种新型基板装载装置,其特征在于,所述卡板(8)的一侧开设有对称设置的卡孔,且卡套设在卡杆(6)上,卡杆(6)伸出卡板(8)的一端螺纹连接有螺母。

5.根据权利要求1所述的一种新型基板装载装置,其特征在于,所述活动口(4)与安装槽(1)的内部相连通,所述调节槽(5)与安装槽(1)的内部不连通。

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