[发明专利]一种掩膜板安装架及掩膜板组件有效
申请号: | 201910001920.8 | 申请日: | 2019-01-02 |
公开(公告)号: | CN109468587B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 姚阳;杨凡;代科;王志强;郑小龙 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 掩膜板 安装 组件 | ||
本发明公开了一种掩膜板安装架及掩膜板组件,涉及掩膜板技术领域,用于解决相关技术中的掩膜板安装架不能很好地适应掩膜板的宽度的改变的问题而发明。该掩膜板安装架,包括框体和多个第一固定单元,多个第一固定单元均设置于框体上并且沿第一方向相隔排布,框体具有开口,第一固定单元包括两个均与框体活动连接的第一子固定单元,在第二方向上,两个第一子固定单元分别位于开口的两侧并且相对设置;第一子固定单元包括第一本体以及设置于第一本体上的第一连接部,第一连接部用于与掩膜板相连接,在第一方向、第二方向上,第一连接部相对框体的位置均可调节。本发明可用于掩膜板的张网调节。
技术领域
本发明涉及掩膜板技术领域,尤其涉及一种掩膜板安装架及掩膜板组件。
背景技术
有机电致发光(OLED,Organic Light-Emitting Diode)器件具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点,被认为是下一代的平面显示器新兴的应用技术。在OLED器件的生产过程中,真空蒸镀是一个重要工艺,OLED有机蒸镀是利用高精度掩膜板作为模具,有机材料高温挥发后以材料分子状态透过掩膜板上的有效开口区内的掩膜开口蒸镀到背板玻璃上。其中,掩膜板的平坦度直接影响蒸镀的效果,面板的分辨率越高,所需的掩膜板也就越精细,进而对掩膜板的平坦度要求也就越高。
为了保证掩膜板03的平坦度,相关技术中提供了一种掩膜板03安装架,如图1所示,包括框体01和拉伸单元02,框体01具有开口011,拉伸单元02包括两个均与框体01活动连接的第一子拉伸单元021,在第一方向X上,两个第一子拉伸单元021分别位于开口011的两侧且相对设置,两个第一子拉伸单元021分别与掩膜板03的两端一一对应连接,每个第一子拉伸单元021在第一方向X上相对框体01的位置均可以调节。在蒸镀后,如果掩膜板03出现松弛、下垂,可以通过调节两个第一子拉伸单元021在第一方向X上相对框体01的位置,来使掩膜板03重新张紧,从而可以使掩膜板03与蒸镀基板完全贴合。
掩膜板03在使用一段时间后需要更换,然而,上述掩膜板03安装架不能很好地适应更换不同宽度的掩膜板03,比如当更换后的掩膜板03的宽度较大时,这样使得相邻的两个掩膜板03之间的距离过小,那么相邻的两个掩膜板03的边缘在外力的作用下(比如运送过程中的振动)很容易重叠接触而造成掩膜板03的损坏;当更换后的掩膜板03的宽度较小时,这样使得相邻的两个掩膜板03之间的距离过大,从而使得基板上蒸镀区域减少,使得一块基板所能切割出的显示面板的数量减少,大大降低了基板的面积利用率。
发明内容
本发明实施例提供一种掩膜板安装架及掩膜板组件,用于解决相关技术中的掩膜板安装架不能很好地适应掩膜板的宽度的改变的问题。
为达到上述目的,第一方面,本发明实施例提供了一种掩膜板安装架,包括框体和多个第一固定单元,多个所述第一固定单元均设置于所述框体上并且沿第一方向相隔排布,所述第一方向为与所述框体的厚度方向相垂直的方向,所述框体具有开口,针对每个所述第一固定单元,所述第一固定单元包括两个均与所述框体活动连接的第一子固定单元,在第二方向上,两个所述第一子固定单元分别位于所述开口的两侧并且相对设置,所述第二方向为与所述框体的厚度方向、所述第一方向均相垂直的方向;针对所述第一固定单元中的每个所述第一子固定单元,所述第一子固定单元包括第一本体以及设置于所述第一本体上的第一连接部,所述第一连接部用于与掩膜板相连接,在所述第一方向、所述第二方向上,所述第一连接部相对所述框体的位置均可调节。
进一步地,所述第一子固定单元还包括第一调节螺杆以及第二调节螺杆,所述第一本体在所述第一方向、所述第二方向上均可相对所述框体移动;所述第一调节螺杆沿所述第二方向延伸,并且均与所述框体、所述第一本体可转动连接,当所述第一调节螺杆转动时,所述第一本体可沿所述第二方向相对所述框体运动;所述第二调节螺杆沿所述第一方向延伸,并且均与所述框体、所述第一本体可转动连接,当所述第二调节螺杆转动时,所述第一本体能够沿所述第一方向相对所述框体运动。
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