[发明专利]一种掩膜板安装架及掩膜板组件

权利要求书

1.一种掩膜板安装架，其特征在于，包括框体和多个第一固定单元，多个所述第一固定单元均设置于所述框体上并且沿第一方向相隔排布，所述第一方向为与所述框体的厚度方向相垂直的方向，所述框体具有开口，针对每个所述第一固定单元，所述第一固定单元包括两个均与所述框体活动连接的第一子固定单元，在第二方向上，两个所述第一子固定单元分别位于所述开口的两侧并且相对设置，所述第二方向为与所述框体的厚度方向、所述第一方向均相垂直的方向；针对所述第一固定单元中的每个所述第一子固定单元，所述第一子固定单元包括第一本体以及设置于所述第一本体上的第一连接部，所述第一连接部用于与掩膜板相连接，在所述第一方向、所述第二方向上，所述第一连接部相对所述框体的位置均可调节。

2.根据权利要求1所述的掩膜板安装架，其特征在于，所述第一子固定单元还包括第一调节螺杆以及第二调节螺杆，所述第一本体在所述第一方向、所述第二方向上均可相对所述框体移动；

所述第一调节螺杆沿所述第二方向延伸，并且均与所述框体、所述第一本体可转动连接，当所述第一调节螺杆转动时，所述第一本体可沿所述第二方向相对所述框体运动；

所述第二调节螺杆沿所述第一方向延伸，并且均与所述框体、所述第一本体可转动连接，当所述第二调节螺杆转动时，所述第一本体能够沿所述第一方向相对所述框体运动。

3.根据权利要求2所述的掩膜板安装架，其特征在于，所述框体上开设有第一螺纹孔，所述第一螺纹孔沿所述第二方向延伸，所述第一调节螺杆配合穿过所述第一螺纹孔后与所述第一本体可转动卡接，以使所述第一调节螺杆与所述第一本体在所述第二方向上的位置相对固定；

所述框体上开设有滑槽，所述滑槽沿所述第二方向延伸，所述第一本体上开设有第二螺纹孔，所述第二螺纹孔沿所述第一方向延伸，所述第二调节螺杆配合穿过所述第二螺纹孔后伸入到所述滑槽中，所述第二调节螺杆与所述滑槽滑动配合并且还与所述滑槽可转动卡接，以使所述第二调节螺杆与所述框体在所述第一方向上的位置相对固定。

4.根据权利要求1所述的掩膜板安装架，其特征在于，所述第一连接部为夹紧机构，所述夹紧机构包括第一夹体和第二夹体，所述第一夹体、所述第二夹体均设置于所述第一本体上，在所述框体的厚度方向上，所述第一夹体和所述第二夹体之间可相对移动，以使所述夹紧机构在夹紧状态和松开状态之间切换。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的掩膜板安装架，其特征在于，在所述框体的厚度方向上，所述第一连接部相对所述框体的位置可调节。

6.根据权利要求5所述的掩膜板安装架，其特征在于，所述第一子固定单元还包括第三调节螺杆，所述第一本体在所述第一方向、所述第二方向上均可相对所述框体移动；所述第一本体包括第一子本体和第二子本体，在所述框体的厚度方向上，所述第一子本体与所述框体的位置相对固定，并且所述第二子本体可相对所述框体移动；

所述第一连接部为夹紧机构，所述夹紧机构包括第一夹体和第二夹体，所述第一夹体设置于所述第一子本体上，并且在所述框体的厚度方向上可相对所述第一子本体移动，所述第二夹体固定设置于所述第二子本体上；

所述第三调节螺杆包括第一子螺杆和第二子螺杆，所述第一子本体上开设有第三螺纹孔和第四螺纹孔，所述第三螺纹孔、所述第四螺纹孔均沿所述框体的厚度方向延伸，所述第一子螺杆配合穿过所述第三螺纹孔后与所述第一夹体可转动卡接，以使所述第一子螺杆与所述第一夹体在所述框体的厚度方向上的位置相对固定；所述第二子螺杆配合穿过所述第四螺纹孔后与所述第二子本体可转动卡接，以使所述第一子螺杆与所述第二子本体在所述框体的厚度方向上的位置相对固定。