[发明专利]一种用于原位高压反应池与超高真空表征传递联用的原位温控台

权利要求书

1.一种原位温控台，其特征在于，所述原位温控台用于原位高压反应池与超高真空表征传递联用技术，所述原位温控台，包括独立样品托(1)、样品托固定件(2)、定制样品台(4)和正电极接触体(3)；

所述独立样品托(1)包括样品承载部(11)和样品托握持部(12)；

所述样品托固定件(2)包括固定件本体(21)，所述固定件本体(21)设有样品托容纳槽(22)，所述样品托容纳槽(22)的底面设有加热件容纳槽(23)，所述样品托容纳槽(22)与样品承载部(11)相配合，使所述独立样品托(1)被传递至所述样品托容纳槽(22)并置于所述样品托容纳槽(22)内，并使所述独立样品托(1)位于所述加热件容纳槽(23)的槽口，所述加热件容纳槽(23)的底面设有加热件嵌入孔(24)；

所述定制样品台(4)包括样品台本体(41)，所述样品台本体(41)上设有加热件承载件(42)，所述加热件承载件(42)上设有加热件(43)，所述加热件承载件(42)和位于所述加热件承载件(42)上的所述加热件(43)组成集成加热块，所述样品台本体(41)上设置集成加热块的部分是一个平面，所述加热件承载件(42)和所述加热件(43)总体上凸出于该平面，从而通过所述加热件嵌入孔(24)嵌入所述加热件容纳槽(23)中，所述加热件(43)分别与正电极接触体(3)和样品台本体(41)电连接，所述样品台本体(41)上还设有热电偶接触件(44)。

2.如权利要求1所述的原位温控台，其特征在于，所述样品托容纳槽(22)的侧壁上设有样品托夹持件(25)。

3.如权利要求1所述的原位温控台，其特征在于，还包括样品托连接件(26)，所述固定件本体(21)通过样品托连接件(26)与样品台本体(41)连接。

4.如权利要求3所述的原位温控台，其特征在于，所述固定件本体(21)通过样品托连接件(26)与样品台本体(41)可拆卸连接。

5.如权利要求1所述的原位温控台，其特征在于，所述热电偶接触件(44)为热电偶夹持件。

6.如权利要求1所述的原位温控台，其特征在于，所述样品承载部(11)上设有填料孔，所述填料孔的位置与加热件容纳槽(23)的位置相配合。

7.如权利要求6所述的原位温控台，其特征在于，所述填料孔为圆柱形，所述加热件容纳槽(23)为圆柱形，所述加热件(43)为螺旋形，所述加热件嵌入孔(24)位于加热件容纳槽(23)的底面的中心。

8.一种超真空表征系统，包括如权利要求1～7任一权利要求所述的原位温控台。

9.如权利要求8所述的超真空表征系统，其特征在于，所述超真空表征系统选自X射线光电子能谱系统、透射电镜、扫描电镜、隧道显微镜、质谱仪、俄歇电子能谱系统、低能电子衍射谱系统、高分辨电子能量损失谱系统、低能离子散射系统、角分辨光电子能谱系统、分子束外延系统。