[发明专利]电子枪、X射线产生装置以及X射线成像装置

说明书

电子枪可以设置有具有电子发射部的阴极、引出从所述电子发射部发射的电子的引出电极以及使由所述引出电极引出的电子聚焦的聚焦电极。所述聚焦电极包括具有管形状的外侧电极以及被配置在所述外侧电极的内侧的内侧电极，所述内侧电极定义柱状的第1空间，并且具有在所述阴极侧的第1表面以及与所述第1表面相对的第2表面，所述外侧电极的内侧表面和所述内侧电极的所述第2表面定义第2空间。所述内侧电极具有使电子通过的电子通过孔以及使所述第1空间与所述第2空间连通的连通部。

技术领域

本发明涉及电子枪、X射线产生装置以及X射线成像装置。

背景技术

电子枪例如被用于产生X射线的X射线产生装置。电子枪例如可以包括引出电子的引出电极以及使由引出电极引出的电子聚焦的聚焦电极。专利文献1记载了合并有电子枪的X射线管。专利文献1中记载的X射线管包括阴极、靶、配置于阴极与靶之间的第1控制栅以及配置于第1控制栅与靶之间的第2控制栅。阴极、第1控制栅以及第2控制栅被理解为电子枪的构成元素。第2控制栅包括开口限制元件。当设置有开口限制元件时，能够获得小的波束尺寸。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-265917号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，当设置有开口限制元件时，在开口限制元件与阴极之间形成了气体的移动被限制的空间。当电子与开口限制元件碰撞时，可能从开口限制元件发射气体。气体可能长时间滞留在开口限制元件与阴极之间的空间中。如果来自阴极的电子与气体碰撞，则气体被电离。如此产生的离子朝向阴极加速并且可能与阴极碰撞。这可能引起阴极的劣化。

本发明的目的在于提供一种有利于抑制阴极的劣化的技术。

解决问题的手段

根据本发明的第1方面，提供了一种电子枪，所述电子枪具备：阴极，包括电子发射部；引出电极，被配置为引出从所述电子发射部发射的电子；以及聚焦电极，被配置为使由所述引出电极引出的电子聚焦。所述聚焦电极包括具有管形状的外侧电极以及被配置在所述外侧电极的内侧的内侧电极，所述内侧电极定义具有柱形状的第1空间，并且包括在所述阴极侧的第1表面以及在所述第1表面的相对侧的第2表面，所述外侧电极的内侧表面和所述内侧电极的所述第2表面定义第2空间。所述内侧电极包括使电子通过的电子通过孔以及被配置为使所述第1空间与所述第2空间彼此连通的连通部。

根据本发明的第2方面，提供了一种X射线产生装置，所述X射线产生装置具备：根据本发明的第1方面的电子枪；以及阳极，包括被配置为当与来自所述电子枪的电子碰撞时产生X射线的靶。

根据本发明的第3方面，提供了一种X射线成像装置，所述X射线成像装置具备：根据本发明的第2方面的X射线产生装置；以及检测装置，对从所述X射线产生装置放射并透过物体的X射线进行检测。

发明的效果

根据本发明，提供了一种有利于抑制阴极的劣化的技术。

附图说明

图1是示意性地示出根据本发明的第1实施方式的电子枪的配置的剖面图；

图2是示出沿图1中的线B-B’截取的剖面的第1示例的图；

图3是示出沿图1中的线A-A’截取的剖面的第1示例的图；

图4是示出沿图1中的线A-A’截取的剖面的第2示例的图；

图5是示出沿图1中的线A-A’截取的剖面的第3示例的图；

图6是示意性地示出根据本发明的第2实施方式的电子枪的配置的剖面图；

图7是示意性地示出根据本发明的第3实施方式的电子枪的配置的剖面图；