[发明专利]电子枪、X射线产生装置以及X射线成像装置有效
| 申请号: | 201880100506.6 | 申请日: | 2018-12-28 |
| 公开(公告)号: | CN113316833B | 公开(公告)日: | 2022-10-04 |
| 发明(设计)人: | 辻野和哉;野村一郎 | 申请(专利权)人: | 佳能安内华股份有限公司 |
| 主分类号: | H01J1/46 | 分类号: | H01J1/46;H01J35/14 |
| 代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 程晨 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 电子枪 射线 产生 装置 以及 成像 | ||
1.一种电子枪,具备:阴极,包括电子发射部;引出电极,被配置为引出从所述电子发射部发射的电子;以及聚焦电极,被配置为使由所述引出电极引出的电子聚焦,其中,
所述聚焦电极包括具有管形状的外侧电极以及被配置在所述外侧电极的内侧使得被所述外侧电极包围的内侧电极,所述内侧电极定义具有柱形状的第1空间,并且所述内侧电极包括在所述阴极侧的第1表面以及在所述第1表面的相对侧的第2表面,所述外侧电极的内侧表面和所述内侧电极的所述第2表面定义第2空间,并且
所述内侧电极包括使电子通过的电子通过孔以及与所述电子通过孔分开配置并被配置为使所述第1空间与所述第2空间彼此连通的连通部。
2.根据权利要求1所述的电子枪,其中,
所述外侧电极包围所述连通部。
3.根据权利要求1所述的电子枪,其中,
所述内侧电极包括具有所述电子通过孔的板部以及具有管形状的管状部,所述管状部的一端连接到所述板部,并且
所述连通部设置在所述管状部中。
4.根据权利要求1所述的电子枪,其中,
所述引出电极包括使电子通过的通过孔以及与所述引出电极的所述通过孔分开配置的贯通孔。
5.根据权利要求1所述的电子枪,其中,
所述引出电极被固定到所述聚焦电极。
6.根据权利要求1所述的电子枪,其中,
所述引出电极电连接到所述聚焦电极。
7.根据权利要求1所述的电子枪,其中,
所述内侧电极被配置在所述外侧电极的内侧,使得在与所述聚焦电极的轴正交的横截面中被所述外侧电极包围。
8.根据权利要求3所述的电子枪,其中,
在所述管状部的外侧表面与所述外侧电极的所述内侧表面之间定义有第3空间,所述第3空间是所述第2空间的一部分,并且所述内侧电极的所述连通部经由所述第3空间使所述第1空间与所述第2空间彼此连通。
9.根据权利要求4所述的电子枪,其中,
所述第1空间包括第1部分和在所述第1部分与所述引出电极之间的第2部分,并且所述第2部分在与所述聚焦电极的轴正交的方向上的尺寸大于所述第1部分在与所述聚焦电极的轴正交的方向上的尺寸。
10.根据权利要求4所述的电子枪,其中,
所述引出电极的所述通过孔与所述贯通孔之间的最短距离为所述贯通孔的半径的5倍以上且50倍以下。
11.根据权利要求9所述的电子枪,其中,
所述第2部分的所述尺寸朝向所述阴极侧变大。
12.一种X射线产生装置,具备:
根据权利要求1所述的电子枪;以及
阳极,包括被配置为当与来自所述电子枪的电子碰撞时产生X射线的靶。
13.一种X射线成像装置,具备:
根据权利要求12所述的X射线产生装置;以及
X射线检测装置,被配置为对从所述X射线产生装置放射并透过物体的X射线进行检测。
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