[发明专利]集成电路及其标准单元有效
申请号: | 201880099162.1 | 申请日: | 2018-11-07 |
公开(公告)号: | CN112970110B | 公开(公告)日: | 2023-06-02 |
发明(设计)人: | 斯蒂芬·巴德尔 | 申请(专利权)人: | 华为技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/092 | 分类号: | H01L27/092;H01L21/768;H01L27/02;H01L21/765;H01L21/8238;H01L21/8234;H01L27/088 |
代理公司: | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人: | 李芳 |
地址: | 518129 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 集成电路 及其 标准 单元 | ||
1.一种集成电路(100),其特征在于,包括:
至少一个电源轨(101);
至少一个扩散层(102);
至少一个隔离栅(103),所述至少一个隔离栅设置在所述扩散层(102)上且用于将所述扩散层(102)的第一区域(102a)与所述扩散层(102)的第二区域(102b)电隔离;
竖直地连接所述扩散层(102)的至少一个局部互连件(300);
至少一个栅极通孔(104),所述至少一个栅极通孔竖直地将所述隔离栅(103)连接到所述电源轨(101),所述栅极通孔(104)与所述局部互连件(300)电隔离,所述栅极通孔(104)靠近所述电源轨(101)的一端的尺寸大于靠近所述隔离栅(103)的一端的尺寸,以使所述栅极通孔(104)与所述局部互连件(300)之间的间距大于或等于最小间距。
2.根据权利要求1所述的集成电路(100),其特征在于,
所述栅极通孔(104)将所述电源轨(101)的底侧直接连接到所述隔离栅(103)的顶部。
3.根据权利要求1所述的集成电路(100),其特征在于,
所述栅极通孔(104)的宽度小于所述隔离栅(103)的宽度并设置在所述隔离栅(103)的所述宽度内。
4.根据权利要求1至3任一所述的集成电路(100),其特征在于,
所述隔离栅(103)用电介质(600、701)覆盖,和/或
所述局部互连件(300)用电介质(700)覆盖,和/或
所述隔离栅(103)与所述局部互连件(300)用不同的电介质(600、701)覆盖。
5.根据权利要求1至3任一所述的集成电路(100),其特征在于,
与所述隔离栅(103)的顶部相比,所述局部互连件(300)的顶部设置在所述集成电路(100)的较低电平处,或者
与所述隔离栅(103)的顶部相比,所述局部互连件(300)的顶部设置在所述集成电路(100)的较高电平处。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的集成电路(100),其特征在于,
所述栅极通孔(104)包括限定较窄下部和较宽上部的台阶(201),所述较窄下部连接到所述隔离栅(103)的顶部,并且所述较宽上部连接到所述电源轨(101)的底侧,以及
与所述局部互连件(300)的顶部相比,所述较宽上部的底侧设置在所述集成电路(100)的较高电平处。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的集成电路(100),其特征在于,
所述隔离栅(103)垂直于所述电源轨(101)延伸,以及
在所述集成电路(100)的俯视图中,所述栅极通孔(104)设置在所述隔离栅(103)和所述电源轨(101)的相交区域中。
8.根据权利要求1至3中任一项所述的集成电路,其特征在于,包括:
多个标准单元(200),其中
至少一个标准单元(200)包括至少一个电源轨(101)、至少一个扩散层(102)、至少一个隔离栅(103),以及竖直地将所述隔离栅(103)连接到所述电源轨(101)的至少一个栅极通孔(104)。
9.根据权利要求8所述的集成电路(100),其特征在于,
将至少一个隔离栅(103)设置并配置成将标准单元(200)中的所述扩散层(102)的第一区域(102a)与相邻标准单元(200)中的所述扩散层(102)的第二区域(102b)电隔离。
10.根据权利要求8所述的集成电路(100),其特征在于,
将至少一个隔离栅(103)设置并配置成将与标准单元(200)中的晶体管相关联的所述扩散层(102)的第一区域(102a)与和同一标准单元(200)中的相邻晶体管相关联的所述扩散层(102)的第二区域(102b)电隔离。
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