[发明专利]集成电路及其标准单元有效

专利信息
申请号: 201880099162.1 申请日: 2018-11-07
公开(公告)号: CN112970110B 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 斯蒂芬·巴德尔 申请(专利权)人: 华为技术有限公司
主分类号: H01L27/092 分类号: H01L27/092;H01L21/768;H01L27/02;H01L21/765;H01L21/8238;H01L21/8234;H01L27/088
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 李芳
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 集成电路 及其 标准 单元
【权利要求书】:

1.一种集成电路(100),其特征在于,包括:

至少一个电源轨(101);

至少一个扩散层(102);

至少一个隔离栅(103),所述至少一个隔离栅设置在所述扩散层(102)上且用于将所述扩散层(102)的第一区域(102a)与所述扩散层(102)的第二区域(102b)电隔离;

竖直地连接所述扩散层(102)的至少一个局部互连件(300);

至少一个栅极通孔(104),所述至少一个栅极通孔竖直地将所述隔离栅(103)连接到所述电源轨(101),所述栅极通孔(104)与所述局部互连件(300)电隔离,所述栅极通孔(104)靠近所述电源轨(101)的一端的尺寸大于靠近所述隔离栅(103)的一端的尺寸,以使所述栅极通孔(104)与所述局部互连件(300)之间的间距大于或等于最小间距。

2.根据权利要求1所述的集成电路(100),其特征在于,

所述栅极通孔(104)将所述电源轨(101)的底侧直接连接到所述隔离栅(103)的顶部。

3.根据权利要求1所述的集成电路(100),其特征在于,

所述栅极通孔(104)的宽度小于所述隔离栅(103)的宽度并设置在所述隔离栅(103)的所述宽度内。

4.根据权利要求1至3任一所述的集成电路(100),其特征在于,

所述隔离栅(103)用电介质(600、701)覆盖,和/或

所述局部互连件(300)用电介质(700)覆盖,和/或

所述隔离栅(103)与所述局部互连件(300)用不同的电介质(600、701)覆盖。

5.根据权利要求1至3任一所述的集成电路(100),其特征在于,

与所述隔离栅(103)的顶部相比,所述局部互连件(300)的顶部设置在所述集成电路(100)的较低电平处,或者

与所述隔离栅(103)的顶部相比,所述局部互连件(300)的顶部设置在所述集成电路(100)的较高电平处。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的集成电路(100),其特征在于,

所述栅极通孔(104)包括限定较窄下部和较宽上部的台阶(201),所述较窄下部连接到所述隔离栅(103)的顶部,并且所述较宽上部连接到所述电源轨(101)的底侧,以及

与所述局部互连件(300)的顶部相比,所述较宽上部的底侧设置在所述集成电路(100)的较高电平处。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的集成电路(100),其特征在于,

所述隔离栅(103)垂直于所述电源轨(101)延伸,以及

在所述集成电路(100)的俯视图中,所述栅极通孔(104)设置在所述隔离栅(103)和所述电源轨(101)的相交区域中。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的集成电路,其特征在于,包括:

多个标准单元(200),其中

至少一个标准单元(200)包括至少一个电源轨(101)、至少一个扩散层(102)、至少一个隔离栅(103),以及竖直地将所述隔离栅(103)连接到所述电源轨(101)的至少一个栅极通孔(104)。

9.根据权利要求8所述的集成电路(100),其特征在于,

将至少一个隔离栅(103)设置并配置成将标准单元(200)中的所述扩散层(102)的第一区域(102a)与相邻标准单元(200)中的所述扩散层(102)的第二区域(102b)电隔离。

10.根据权利要求8所述的集成电路(100),其特征在于,

将至少一个隔离栅(103)设置并配置成将与标准单元(200)中的晶体管相关联的所述扩散层(102)的第一区域(102a)与和同一标准单元(200)中的相邻晶体管相关联的所述扩散层(102)的第二区域(102b)电隔离。

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