[发明专利]显示屏的激光修复及检查方法和适合其的修复及检查装置

说明书

本发明提供一种激光修复及检查方法和用于其的装置。激光修复及检查方法从利用激光的屏修复装置照射激光，为了确认状态，在作为拍摄对象的屏区域的里侧设置照射相应区域而能够透过屏的红外线透过光源，在照射用于修复的激光同时或照射激光之后，在对屏表面不存在照明光及可视光透光照射的情况下，在屏里侧照射红外线光，并进行用于对相应区域的检查的拍摄，在摄像装置中确认该拍摄影像，而确认相应区域的修复工艺的成功与否。根据本发明，在对屏进行激光修复加工时，减少该成果的重新检查负担，并及时具有高的准确率，由此，并容易确认修复加工的成果，从而，能够提高激光修复加工的效率及运用率。

技术领域

本发明涉及显示屏的激光修复，更具体地显示一种激光修复及检查方法和适合其的修复及检查装置，能够及时确认显示屏的激光修复的结果而减少检查负担。

背景技术

激光加工是指产生同步化程度高的单一波长光线，并将通过聚光透镜聚光而获得的具有高密度的能源的激光照射被加工物体的极小部分而执行切断(Cutting)、切除(去除)(Ablation)、蒸发、熔融等作业的加工方法。

使用于该激光加工的激光光束相对容易控制形式或大小，由此，通过数控装置控制，因而适合复杂形状的加工或精细加工。

普遍的激光加工装置由如下结构等构成，激光振荡器，生成激光；光学单元，将在所述激光振荡器发生的激光束引导并聚光至加工作业位置；位置控制器，将通过所述光学单元而聚光的激光束到达被加工物体的所需的位置。

图1为简要显示现有的激光修复装置的构成例的结构概念图。

由激光光源10发出的激光通过狭缝20、第一光束分离器91、管式透镜40、第二光束分离器81、第三光束分离器51、物镜60而到达加工对象即基板70的加工区域。

此时，狭缝广义为包含光罩的概念，并起到通过该狭缝而确定到达屏加工区域的激光的大小和形式的作用。管式透镜40和物镜60一起发生作用，而在屏70的加工区域具有激光所需的聚光度并到达，而进行屏加工。

从影像光源53向第三光束分离器51照射光，在此使反射的光通过物镜60而照射基板的加工区域。从加工区域反射、散射的光作为影像光而具有加工区域的影像信息，反向通过物镜60，并反向通过第三光束分离器51、第二光束分离器81、管式透镜40之后，从第一光束分离器91反射而投入摄像装置93，使摄像装置获取加工区域的影像。

在该结构中，管式透镜40与物镜60一起构成加工用激光到达基板的路径及供屏加工区域的影像信息传输至摄像装置的路径，并执行确定激光的聚光度的作用和显示无限光学系统物镜的影像光的成像及数次补正等作用。

并且，影像光一部分从第二光束分离器81反射而投入其侧方的自动对焦传感器83，自动对焦传感器83为了通过摄像装置93顺畅确认在加工对象即屏70的相应区域加工的图案的加工过程和结果等，按通过激光而确认在屏70的上面(表面)加工的图案的物镜60的角倍率而自动匹配物镜60的焦点。

具有如上所述结构的激光修复装置或激光加工装置因上述便利性和精密加工性而广泛使用于平板显示器制造领域等。尤其，在包含LCD或OLED的平板显示器领域中广泛为了修复像素而运用。假设不合格像素分为辉点像素和暗点像素，通常允许的辉点像素的基准比暗点像素的基准严格，而将辉点像素暗点化，而提高显示屏的收益率。

将激光照射至黑矩阵而溶解黑矩阵，将溶解的黑矩阵物质引导至异物侧，而将辉点像素暗点化的方法；直接照射透光区域的滤色镜而使滤色镜的颜色变黑，而将辉点像素暗点化的方法作为该用于将辉点像素暗点化的普通方法。

另外，在实施激光修复时，未损伤屏的其它层或部位，为了在黑矩阵或滤色层等暗点化的特定层集中能源，利用偏光的性质和聚光透镜的焦距。