[发明专利]X射线分析装置

说明书

X射线分析装置(1)具备：试样支承部(10)，其对配置于各待机位置的多个试样(S)进行支承；搬送部(20)，其具有把持试样(S)的把持部(26)，搬送部(20)使试样在各待机位置与测定位置之间移动；X射线照射部(30)，其朝向配置于测定位置的试样照射初级X射线；检测器(40)，其检测从被照射了初级X射线的试样产生的荧光X射线；以及试样室(51)，其包括以能够分离的方式设置的第一部分(511)和第二部分(512)，在测定位置配置有试样(S)的状态下收容试样(S)和把持部(26)。第一部分(511)设置在测定位置的周边，第二部分(512)设置于搬送部(20)。在测定位置配置有试样(S)的状态下，第二部分(512)抵接于第一部分(511)，由此成为形成有试样室(51)的状态。

技术领域

本发明涉及一种向试样照射X射线并进行分析的X射线分析装置。

背景技术

在以往的X射线分析装置中公开了如下一种技术：使载置有多个试样的旋转台旋转，使用升降机构使移动到升降位置的试样被移动至测量仪器室(参照日本特开昭60-000043号公报(专利文献1))。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭60-000043号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，在专利文献1所公开的X射线分析装置中，为了使试样移动至测量仪器室，必须使旋转台旋转且使各试样依次移动到升降位置。因此，无法直接使试样在配置有试样的各位置与测量仪器室之间移动。在该情况下，由于只能在旋转台的规定的移动路径上配置试样，因此难以有效地利用装置内的空间。

在使用搬送机构直接使试样在配置有试样的各位置(待机位置)与测量仪器室之间移动的情况下，在将试样配置于测定位置且使搬送机构从测量仪器室退避后进行X射线分析时，搬送机构的移动路径变长。在该情况下，在搬送机构的移动时间变长、试样的数量变多时，试样的搬送时间也花费相当程度的时间。

另外，在测量仪器室中需要用于容纳搬送机构的容纳部，在该情况下，在没有任何办法的情况下，担心X射线从该容纳部漏出到测量仪器室外。

本发明是鉴于如上所述的问题而完成的，本发明的目的在于提供一种X射线分析装置，该X射线分析装置能够抑制测定时的X射线的泄漏，并且能够在待机位置与测定位置之间搬送试样。

用于解决问题的方案

基于本发明的X射线分析装置具备：试样支承部，其对配置于各待机位置的多个试样进行支承；搬送部，其具有把持上述试样的把持部，上述搬送部使上述试样在上述各待机位置与测定位置之间移动；X射线照射部，其朝向配置于上述测定位置的上述试样照射初级X射线；检测器，其检测从被照射了上述初级X射线的上述试样产生的荧光X射线；以及试样室，其包括以能够分离的方式设置的第一部分和第二部分，在上述测定位置配置有上述试样的状态下收容上述试样和上述把持部。上述第一部分设置在上述测定位置的周边，上述第二部分设置于上述搬送部。在上述测定位置配置有上述试样的状态下，上述第二部分抵接于上述第一部分，由此成为形成有上述试样室的状态。

根据上述构成，在X射线分析装置中，通过设置搬送试样的搬送部，能够在各待机位置与测定位置之间搬送试样。并且，在搬送部上设置作为以能够分离的方式设置的试样室的一部分的第二部分，在试样配置于测定位置的状态下，上述第二部分抵接于作为该试样室的另一部分的第一部分，由此成为形成有试样室的状态。在该状态下，用于把持试样的把持部以及该试样被收容在试样室内，因此在测定时透过了试样的X射线的一部分被试样室遮蔽。由此，能够抑制X射线漏出到试样室的外部。