[发明专利]X射线分析装置

权利要求书

1.一种X射线分析装置，具备：

试样支承部，其对配置于各待机位置的多个试样进行支承；

搬送部，其具有用于把持所述试样的把持部，所述搬送部使所述试样在所述各待机位置与测定位置之间移动；

X射线照射部，其朝向配置于所述测定位置的所述试样照射初级X射线；

检测器，其检测从被照射了所述初级X射线的所述试样产生的荧光X射线；以及

试样室，其包括以能够分离的方式设置的第一部分和第二部分，在所述测定位置配置有所述试样的状态下所述试样室收容所述试样和所述把持部，

其中，所述第一部分设置在所述测定位置的周边，

所述第二部分设置于所述搬送部，

在所述测定位置配置有所述试样的状态下，所述第二部分抵接于所述第一部分，由此成为形成有所述试样室的状态。

2.根据权利要求1所述的X射线分析装置，其中，

还具备试样台，所述试样台用于在所述测定位置载置所述试样，

所述试样台具有第一主表面和第二主表面，其中，所述第一主表面朝向所述X射线照射部和所述检测器侧，所述第二主表面位于所述第一主表面的相反侧，用于载置所述试样，

所述把持部被设置为能够在与所述第二主表面垂直的法线方向上移动，

所述第一部分是筒状构件，所述筒状构件具有平行于所述法线方向的筒轴，所述筒状构件以使在所述筒轴的方向上的一端侧被所述试样台封闭的方式设置在所述第二主表面上，

所述第二部分是以能够从所述筒状构件的在所述筒轴的方向上的另一端侧与所述筒状构件相向的方式设置的盖构件，

在所述把持部沿着所述法线方向以靠近所述第二主表面的方式移动而将所述试样配置于所述测定位置的状态下，所述盖构件将所述筒状构件的所述另一端侧封闭，由此成为形成有所述试样室的状态。

3.根据权利要求1或2所述的X射线分析装置，其中，

所述把持部维持在所述测定位置把持了所述试样的状态，

所述X射线照射部朝向被所述把持部把持的所述试样照射所述初级X射线。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的X射线分析装置，其特征在于，

所述把持部被设置为能够绕与所述试样的分析面垂直的旋转轴进行旋转。