[发明专利]使用二衍射级成像的离轴照明覆盖测量

权利要求书

1.一种由具有照明支部及收集支部的计量工具测量计量目标的方法，所述方法包含：

由所述照明支部以利特罗(Littrow)配置照明所述目标以产生包含-1衍射级及0衍射级的第一测量信号及包含+1衍射级及0衍射级的第二测量信号，其中所述第一测量信号的所述-1衍射级及所述第二测量信号的所述+1衍射级与所述照明的方向成180°衍射；

由所述收集支部执行所述第一测量信号的第一测量及所述第二测量信号的第二测量；及

从所述第一测量及所述第二测量导出至少一个计量度量。

2.根据权利要求1所述的方法，其中通过空间光调制及/或通过数字光处理来实施所述照明。

3.根据权利要求1所述的方法，其中以多个波长实施所述照明以实施灵活利特罗配置。

4.根据权利要求1所述的方法，其中通过空间光调制及/或通过数字光处理来实施所述测量的所述执行。

5.根据权利要求1所述的方法，其中在两个测量方向上同时实施所述照明及所述测量的所述执行。

6.根据权利要求1所述的方法，其中使用交替应用于具有四个极的照明源以对应于两个测量方向上的同时照明的一对快门来实施所述照明。

7.根据权利要求1到6中任一权利要求所述的方法，其进一步包含衰减所述0衍射级中的至少一者。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述至少一个计量度量包含从等式3计算的所述目标的覆盖。

9.根据权利要求1所述的方法，其进一步包含通过相对于给定计量目标设计将所述目标的周期性结构间距减小1/2来将所述计量目标的大小减半。

10.根据权利要求1所述的方法，其中以0°及180°的晶片定向实施所述第一测量及所述第二测量。

11.根据权利要求1到10中任一权利要求所述的方法，其至少部分由至少一个计算机处理器实施。

12.一种计算机程序产品，其包含计算机可读存储媒体，所述计算机可读存储媒体具有随其体现且经配置以至少部分实施根据权利要求1到10中任一权利要求所述的方法的计算机可读程序。

13.一种计量模块，其包含根据权利要求12所述的计算机程序产品。

14.一种计量测量，其由根据权利要求1到10中任一权利要求所述的方法执行。

15.一种计量工具，其包含：

照明支部，其经配置用于以利特罗配置照明目标以产生包含-1衍射级及0衍射级的第一测量信号及包含+1衍射级及0衍射级的第二测量信号，其中所述第一测量信号的所述-1衍射级及所述第二测量信号的所述+1衍射级与所述照明的方向成180°衍射；

收集支部，其经配置以执行所述第一测量信号的第一测量及所述第二测量信号的第二测量；及

处理单元，其经配置以从所述第一测量及所述第二测量导出至少一个计量度量。

16.根据权利要求15所述的计量工具，其中所述照明支部及所述收集支部中的至少一者包含经配置以实施对应于通过多个波长的照明的灵活利特罗配置的空间光调制器及/或数字光处理器。

17.根据权利要求15所述的计量工具，其中所述照明支部及所述收集支部经配置以在两个测量方向上同时实施所述照明及所述测量的所述执行。

18.根据权利要求15所述的计量工具，其中所述照明支部包含交替应用于具有四个极的照明源以对应于两个测量方向上的同时照明的一对快门。