[发明专利]侧紧固装置

权利要求书

1.一种侧紧固装置，具有：

一对紧固部件，使所述一对紧固部件中的至少一个紧固部件可动而对基板在宽度方向上进行保持；

可动侧支撑部件，对所述一对紧固部件中的可动的可动侧紧固部件以能够沿着移动方向相对于所述可动侧支撑部件相对滑动的方式进行支撑；

驱动机构，通过驱动电动机的输出使所述可动侧支撑部件移动；

施力部件，组装在所述可动侧支撑部件与所述可动侧紧固部件之间，对所述可动侧紧固部件向使所述一对紧固部件接近的方向施力；

传感器，用于通过检测所述施力部件的位移量，而检测所述可动侧紧固部件与所述基板接触之后，可动侧支撑部件到达一定的紧固力产生的位置；及

控制装置，基于所述传感器的检测信号，使所述可动侧支撑部件从所述一定的紧固力产生的位置进一步移动并使所述可动侧支撑部件在预定的位置处停止。

2.根据权利要求1所述的侧紧固装置，其中，

所述施力部件为螺旋弹簧，所述传感器以所述可动侧紧固部件与基板接触的位置为基准，来检测根据所述螺旋弹簧的弹簧常数而设定的该螺旋弹簧的位移量。

3.根据权利要求1所述的侧紧固装置，其中，

所述施力部件经由固定于所述可动侧支撑部件的托架而连接在所述可动侧支撑部件与所述可动侧紧固部件之间，所述传感器是安装于所述托架的光传感器，在所述可动侧紧固部件安装有所述光传感器进行检测的传感器卡爪。

4.根据权利要求2所述的侧紧固装置，其中，

所述施力部件经由固定于所述可动侧支撑部件的托架而连接在所述可动侧支撑部件与所述可动侧紧固部件之间，所述传感器是安装于所述托架的光传感器，在所述可动侧紧固部件安装有所述光传感器进行检测的传感器卡爪。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的侧紧固装置，其中，

所述驱动机构由滚珠丝杠构成，该滚珠丝杠对于固定在能够直行的所述可动侧支撑部件上的螺母螺合有连接于所述驱动电动机的丝杠轴而成。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的侧紧固装置，其中，

所述可动侧紧固部件经由低滑动板而组装在所述可动侧支撑部件上。