[发明专利]蒸发源、用于操作蒸发源的方法和沉积系统

说明书

本公开内容提供一种用于在真空腔室中蒸发沉积材料的蒸发源。蒸发源包括：坩埚组件，所述坩埚组件具有坩埚；加热单元，所述加热单元配置为加热坩埚；屏蔽布置，所述屏蔽布置用于减少坩埚的热辐射至真空腔室中；和第一冷却布置，所述第一冷却布置位于坩埚与屏蔽布置之间。

技术领域

本公开内容大体涉及蒸发源、源材料的沉积、以及用于沉积材料的系统、设备和方法，所述材料例如是有机材料。具体地，本公开内容涉及用于有机材料的蒸发的蒸发源，例如在用于制造装置的沉积系统中使用，特别是其中包括有机材料的装置。

背景技术

有机蒸发器是有机发光二极管(OLED)的生产工具。有机发光二极管是发光二极管的特别类型，此发光二极管的发光层包括特定有机化合物的薄膜。有机发光二极管是用于电视屏幕、计算机监视器、移动电话、其他手持装置等的制造，例如用于显示信息。有机发光二极管亦可被用于一般空间照明。由于有机发光二极管像素直接地发射光且并未包括背光，因此有机发光二极管显示器的颜色、亮度和视角范围可大于传统液晶显示器的颜色、亮度和视角范围。因此，有机发光二极管显示器的能量消耗明显小于传统液晶显示器的能量消耗。此外，有机发光二极管可被制造在柔性基板上的事实，导致进一步的应用。

有机材料可通过使用蒸发源的蒸发进行沉积。举例而言，蒸发源可包括坩埚和分配组件。待蒸发的材料填充于坩埚中。通过加热坩埚，材料被蒸发。蒸发材料可被导引于具有一个或多个开口或喷嘴的分配组件中。举例而言，可提供多个喷嘴，这些喷嘴被配置用于将蒸发材料导向至基板。分配组件可被加热，以避免蒸发材料在分配组件中凝结。

所述材料，诸如有机材料，在高温下蒸发。蒸发源的部件(component)被加热至高于蒸发温度的温度。为了沉积系统的维护或保养，蒸发源的温度下降至例如是室温。鉴于处理系统的购置成本(cost of ownership，CoO)，产量(throughput)有益地越高越好。因此，需要减少包括维护或保养的时间在内的停工时间(downtime)。

因此，鉴于以上所述，持续需要一种用于冷却沉积源的改善的设备、方法和系统，利用所述设备、方法和系统能够减少生产的停工时间。

发明内容

鉴于以上所述，根据一方面，提供一种用于在真空腔室中蒸发沉积材料的蒸发源。蒸发源包括：坩埚组件，所述坩埚组件具有坩埚；加热单元，所述加热单元配置为加热坩埚；屏蔽布置，所述屏蔽布置用于减少坩埚向真空腔室中的热辐射(heat radiation)；和第一冷却部置，所述第一冷却部置位于坩埚与屏蔽布置之间。

此外，根据一方面，提供一种用于蒸发沉积材料的系统。所述系统包括：真空腔室；根据本文所描述的实施方式的蒸发源；和分配组件，所述分配组件用于对蒸发沉积材料进行沉积。

此外，根据一方面，提供一种操作蒸发源的方法。所述方法包括：加热坩埚以蒸发材料；以及关闭蒸发源。关闭蒸发源包括：关闭加热以及主动冷却坩埚。

本公开内容的另外的方面、优点和特征根据从属权利要求、说明书和附图是显而易见的。

附图说明

可参照实施方式来详细地理解本公开内容的上述特征，以及以上简要概述的有关本公开内容的更具体的描述。附图涉及本公开内容的实施方式，并且描述如下：

图1A示出了根据本文所描述的实施方式的坩埚组件的截面图；

图1B示出了根据本文所描述的实施方式的坩埚组件的截面图；

图2示出了根据本文所描述的实施方式的坩埚的示意图；

图3A示出了根据本文所描述的实施方式的坩埚组件的示意性水平截面图；

图3B示出了根据本文所描述的实施方式的第一冷却布置的示意性侧视图；