[发明专利]数据取得装置有效
申请号: | 201880093010.0 | 申请日: | 2018-05-02 |
公开(公告)号: | CN112074724B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 大平真由美;铃木良政 | 申请(专利权)人: | 仪景通株式会社 |
主分类号: | G01N21/45 | 分类号: | G01N21/45 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 孙明浩;崔成哲 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 数据 取得 装置 | ||
提供能够以高准确度计算折射率的数据取得装置。数据取得装置具备光源、第1分束器、规定的分束器、第1光偏转元件、第2光偏转元件、第1测定单元、第2测定单元、第2分束器以及光检测器,在第1分束器中,通过光学膜,从入射的光生成沿第1方向行进的光和沿第2方向行进的光,第2测定光路位于第1方向上,参照光路位于第2方向上,规定的分束器配置于第2测定光路或者配置于参照光路,第1测定光路位于规定的分束器与光检测器之间,在第1测定光路中配置有第1光偏转元件和第1测定单元,在第2测定光路中配置有第2光偏转元件和第2测定单元,第1测定光路与第2测定光路交叉。
技术领域
本发明涉及数据取得装置,尤其是涉及取得用于计算折射率的数据的装置。
背景技术
在非专利文献1和专利文献1中公开了以高分辨率取得微小物体的像的装置。
在非专利文献1中,装置具有参照光路和信号光路。在参照光路中配置有透镜。在信号光路中配置有2个物镜。2个物镜隔着标本而配置。在信号光路中配置有旋转镜。通过旋转镜,使向标本照射的光的角度变化。
透射了标本的光与参照光路的光一起被光检测器检测。由透射了标本的光和参照光路的光形成全息图。在透射了标本的光中包括在标本产生的散射光。因此,在全息图中也包括散射光的信息。使用该全息图,计算标本中的折射率的三维分布。
在专利文献1中,装置具有2个光路。在一方的光路中配置有针孔和透镜。在另一方的光路中配置有聚光透镜和物镜。聚光透镜与物镜隔着标本而配置。在信号光路中配置有楔形棱镜。通过楔形棱镜的旋转,使向标本照射的光的角度变化。
在专利文献1中,公开了一种提高微小物体的像的分辨率的方法。所公开的方法包括对被微小物体散射后的波动场进行测定的步骤。通过相干传递函数对测定出的波动场进行反卷积,求出散射势。按照向标本照射的光的每个角度而求出该散射势,利用傅里叶面进行合成,由此提高像的分辨率。
此外,公开了式(30)。在式(30)中包括函数F(K)和n(r)。函数F(K)是散射势,n(r)是复折射率。式(30)示出根据散射势求出折射率。
现有技术文献
非专利文献
非专利文献1:ULUGBEK S.KAMILOV ET AL,Learning approach to opticaltomography,Optica,June 2015,Vol.2,No.6,517-522
专利文献
专利文献1:美国专利第8937722号说明书
发明内容
发明要解决的问题
在非专利文献1所公开的装置和专利文献1所公开的装置中,与散射势相关的信息较少。因此,难以准确地计算标本的折射率。具体而言,计算出的折射率的值比实际的折射率的值小。
本发明是鉴于上述问题而完成的,其目的在于,提供一种能够以高准确度计算折射率的数据取得装置。
用于解决问题的手段
为了解决上述问题,实现目的,本发明的至少几个实施方式的数据取得装置的特征在于,
具备光源、第1分束器、规定的分束器、第1光偏转元件、第2光偏转元件、第1测定单元、第2测定单元、第2分束器以及光检测器,
第1测定光路、第2测定光路以及参照光路位于光源与光检测器之间,
第1分束器、规定的分束器以及第2分束器分别具有形成了光学膜的光学面,
在第1分束器中,通过光学膜,从入射的光生成沿第1方向行进的光和沿第2方向行进的光,
第2测定光路位于第1方向上,
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