[发明专利]数据取得装置

权利要求书

1.一种数据取得装置，其特征在于，

所述数据取得装置具备光源、第1分束器、规定的分束器、第1光偏转元件、第2光偏转元件、第1测定单元、第2测定单元、第2分束器以及光检测器，

第1测定光路、第2测定光路以及参照光路位于所述光源与所述光检测器之间，

所述第1分束器、所述规定的分束器以及所述第2分束器分别具有形成了光学膜的光学面，

在所述第1分束器中，通过所述光学膜，从入射的光生成沿第1方向行进的光和沿第2方向行进的光，

所述第2测定光路位于所述第1方向上，

所述参照光路位于所述第2方向上，

所述规定的分束器配置于所述第2测定光路或者配置于所述参照光路，

所述第1测定光路位于所述规定的分束器与所述光检测器之间，

在所述第1测定光路中配置有所述第1光偏转元件和所述第1测定单元，

在所述第2测定光路中配置有所述第2光偏转元件和所述第2测定单元，

所述第1测定光路与所述第2测定光路交叉。

2.一种数据取得装置，其特征在于，

所述规定的分束器配置于所述第2测定光路，

所述第1测定光路位于所述规定的分束器的反射侧，

所述第2测定光路位于所述规定的分束器的透射侧。

3.一种数据取得装置，其特征在于，

所述规定的分束器配置于所述参照光路，

所述第1光偏转元件具有所述规定的分束器，

所述参照光路位于所述规定的分束器的透射侧，

所述第1测定光路位于所述规定的分束器的反射侧。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的数据取得装置，其特征在于，

所述第1光偏转元件的光学面与所述第2光偏转元件的光学面分别和所述第1测定光路与所述第2测定光路的交点共轭，

所述第1光偏转元件和所述第2光偏转元件分别是检流计扫描仪。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的数据取得装置，其特征在于，

所述数据取得装置具有第3光偏转元件和第4光偏转元件，

所述第3光偏转元件配置在所述第1测定单元与所述光检测器之间，

所述第4光偏转元件配置在所述第2测定单元与所述光检测器之间，

所述第3光偏转元件的光学面与所述第4光偏转元件的光学面分别和所述第1测定光路与所述第2测定光路的交点共轭，

所述第3光偏转元件和所述第4光偏转元件分别是检流计扫描仪。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的数据取得装置，其特征在于，

所述第1测定光路和所述第2测定光路分别相对于所述参照光路平行地位于所述第2分束器至所述光检测器之间。

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的数据取得装置，其特征在于，

所述数据取得装置具有与所述光源不同的光源，

从所述不同的光源出射的光的波段与从所述光源出射的光的波段不同。

8.根据权利要求1至7中的任意一项所述的数据取得装置，其特征在于，

通过所述光检测器，同时检测在所述第1测定光路中行进的光、在所述第2测定光路中行进的光、以及在参照光路中行进的光。

9.根据权利要求1至8中的任意一项所述的数据取得装置，其特征在于，

所述数据取得装置具有第1偏振元件、第2偏振元件以及第3偏振元件，

所述第1偏振元件配置于所述第1测定光路，

所述第2偏振元件配置于所述第2测定光路，

所述第3偏振元件配置于所述参照光路，

所述第1偏振元件的偏振方向与所述第2偏振元件的偏振方向不同，

所述第3偏振元件的偏转方向与所述第1偏振元件的偏振方向和所述第2偏振元件的偏振方向这两方不同。