[发明专利]喷嘴板的制造方法和喷墨头

说明书

本发明提供耐久性优异、喷出性良好的喷嘴板。为此，金属制的喷嘴板(30)通过粘接剂而粘接于具备用于喷出液体的致动器的头芯片(20)，形成有喷出液体的喷嘴(33)，该金属制的喷嘴板(30)的制造方法具备：喷嘴形成工序，在金属制的板状部件(P)上形成喷嘴；槽形成工序，在形成有喷嘴的金属制的板状部件形成槽(35)；以及外形加工工序，在槽形成工序后进行喷嘴板的外形加工。

技术领域

本发明涉及喷嘴板的制造方法和喷墨头。

背景技术

进行液体的喷出的喷墨头具有：形成有多个压力室的头芯片、形成有喷出液体的喷嘴的喷嘴板，使用粘接剂而将喷嘴板粘接在头芯片的端面。

关于该喷嘴板，在专利文献1中记载了，使形成材料为金属板，通过冲压加工和研磨而形成喷嘴。

另外，在专利文献2中记载了，使喷嘴板的形成材料为硅，通过光刻加工而形成喷嘴。

另外，在专利文献3中记载了，使喷嘴板的形成材料为聚酰亚胺树脂，通过激光加工或蚀刻加工来形成喷嘴。另外，在该喷嘴板形成有用于防止在与头芯片的粘接时粘接剂封堵喷嘴的槽。

专利文献1：日本特开2007-137039号公报

专利文献2：日本特开2003-154652号公报

专利文献3：日本特开2015-112848号公报

然而，上述专利文献1和2的喷嘴板在向头芯片的粘接时未设有粘接剂的对策，有可能产生由于粘接剂引起的喷出不良。

另外，专利文献2的喷嘴板由硅形成，因此耐药品性、特别是碱性较弱，作为喷墨头是不合适的。

另外，专利文献3的喷嘴板由聚酰亚胺树脂构成，存在强度或耐久性差的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供耐久性优异、喷出性良好的喷嘴板的制造方法和喷墨头。

第1方式中记载的发明提供一种金属制的喷嘴板的制造方法，该喷嘴板通过粘接剂而粘接于具备用于喷出液体的致动器的头芯片，形成有喷出液体的喷嘴，其特征在于，该喷嘴板的制造方法具备：喷嘴形成工序，在金属制的板状部件形成上述喷嘴；槽形成工序，在上述金属制的板状部件形成槽；以及外形加工工序，进行上述喷嘴板的外形加工。

第2方式中记载的发明基于第1方式中记载的喷嘴板的制造方法，其特征在于，在上述喷嘴形成工序中，以直线状在一定的方向上以一定的间隔排列多个上述喷嘴而形成单列的喷嘴列或者多列的喷嘴列，在上述槽形成工序中，与上述一定的方向平行地形成上述槽。

第3方式中记载的发明基于第2方式中记载的喷嘴板的制造方法，其特征在于，在上述槽形成工序中，通过在与上述一定的方向平行的同一直线上排列的多个小槽而形成上述槽，使相邻的上述小槽之间的间隙区域的间隔比相邻的上述喷嘴之间的间隙区域的间隔窄。

第4方式中记载的发明基于第3方式中记载的喷嘴板的制造方法，其特征在于，在上述槽形成工序中，以在上述一定的方向上，相邻的上述小槽之间的间隙区域与上述槽的相邻的上述喷嘴列的任意的喷嘴都不重叠的方式，形成各个上述小槽。

第5方式中记载的发明基于第2方式至第4方式中任一项所记载的喷嘴板的制造方法，其特征在于，在上述槽形成工序中，以比上述喷嘴列长且在上述一定的方向上该喷嘴列处于内侧的方式形成上述槽。

第6方式中记载的发明基于第2方式至第5方式中任一项所记载的喷嘴板的制造方法，其特征在于，在上述槽形成工序中，在夹着上述喷嘴列而成为其两侧的位置形成上述槽。

第7方式中记载的发明基于第1方式至第6方式中任一项所记载的喷嘴板的制造方法，其特征在于，通过湿式蚀刻而形成上述槽。