[发明专利]喷嘴板的制造方法和喷墨头

权利要求书

1.一种金属制的喷嘴板的制造方法，该喷嘴板通过粘接剂而粘接于具备用于喷出液体的致动器的头芯片，且形成有喷出液体的喷嘴，其特征在于，该喷嘴板的制造方法具备：

喷嘴形成工序，在金属制的板状部件形成所述喷嘴；

槽形成工序，在所述金属制的板状部件形成槽；以及

外形加工工序，进行所述喷嘴板的外形加工，

在所述外形加工工序中，针对所述金属制的板状部件，从在所述槽形成工序中形成所述槽的面侧，沿着所述喷嘴板的外形而进行湿式蚀刻。

2.根据权利要求1所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，

在所述喷嘴形成工序中，以直线状在一定的方向上以一定的间隔排列多个所述喷嘴而形成单列的喷嘴列或者多列的喷嘴列，

在所述槽形成工序中，与所述一定的方向平行地形成所述槽。

3.根据权利要求2所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，

在所述槽形成工序中，通过在与所述一定的方向平行的同一直线上排列的多个小槽而形成所述槽，

使相邻的所述小槽之间的间隙区域的间隔比相邻的所述喷嘴之间的间隙区域的间隔窄。

4.根据权利要求3所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，

在所述槽形成工序中，以在所述一定的方向上，相邻的所述小槽之间的间隙区域与所述槽的相邻的所述喷嘴列的任意的喷嘴都不重叠的方式，形成各个所述小槽。

5.根据权利要求2所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，

在所述槽形成工序中，以比所述喷嘴列长且在所述一定的方向上该喷嘴列处于内侧的方式形成所述槽。

6.根据权利要求2所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，

在所述槽形成工序中，在夹着所述喷嘴列而成为其两侧的位置形成所述槽。

7.根据权利要求1所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，

通过湿式蚀刻而形成所述槽。

8.根据权利要求1所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，

在所述槽形成工序前，具备对形成所述槽的面进行研磨的研磨工序。

9.根据权利要求8所述的喷嘴板的制造方法，其特征在于，

在所述喷嘴形成工序中，通过冲压加工和研磨、或者激光加工而形成所述喷嘴。

10.一种喷墨头，其特征在于，具有：

头芯片，具备用于喷出液体的致动器；以及

金属制的喷嘴板，通过粘接剂而粘接于所述头芯片，且形成有喷出液体的喷嘴，

在所述喷嘴板上形成单列的喷嘴列或者多列的喷嘴列，其中，该喷嘴列以直线状在一定的方向上以一定的间隔排列多个所述喷嘴而得的，

在所述喷嘴板的成为所述头芯片侧的第一面上，与所述一定的方向平行地形成槽，

所述喷嘴板的成为与所述头芯片相反侧的第二面被疏水膜覆盖，

关于在所述喷嘴板的外周形成的外周端面的一部分或者全部，其所述第一面侧的端部相对于该第一面为钝角。

11.根据权利要求10所述的喷墨头，其特征在于，

所述槽由在与所述一定的方向平行的同一直线上排列的多个小槽构成，

形成为相邻的所述小槽之间的间隙区域的间隔比相邻的所述喷嘴之间的间隙区域的间隔窄。

12.根据权利要求11所述的喷墨头，其特征在于，

以在所述一定的方向上，相邻的所述小槽之间的间隙区域与所述槽的相邻的所述喷嘴列的任意的喷嘴都不重叠的方式，形成有各个所述小槽。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的喷墨头，其特征在于，

所述槽形成为比所述喷嘴列长且在所述一定的方向上该喷嘴列处于内侧。